例文 (4件) |
"optical pyrometer"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 4件
To provide an optical pyrometer capable of performing temperature correction of a photodiode in a wide environmental temperature range.例文帳に追加
広い環境温度範囲でフォトダイオードの温度補正ができる光学式パイロメータを提供する。 - 特許庁
To provide the temperature control method of a machining chamber, a semiconductor-machining device, and a sensor calibration method that eliminate inaccuracy regarding the slow response time of a thermocouple and an optical pyrometer, and down time for calibration, and control wafer temperature.例文帳に追加
熱電対の緩慢な応答時間および光高温計に関連する不正確さと較正のための停止時間をなくする、ウェハ温度を制御するための加工室の温度制御方法、半導体加工装置及びセンサ較正方法を提供する。 - 特許庁
To provide an auxiliary heating plate which is capable of lessening a temperature difference between the peripheral part and center of a semiconductor wafer so as to uniformly heat the semiconductor wafer, holding it in a light irradiation-type thermal treatment device in which temperature is measured with an optical pyrometer.例文帳に追加
光温度計にて測温する光照射式熱処理装置において、加熱処理される半導体ウェハの外周分と中心部の温度差を低減し、均一に加熱すると共に半導体ウェハを保持する補助加熱板を提供することを目的とする。 - 特許庁
例文 (4件) |
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