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"soft X-ray irradiation"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 6件
SOFT X-RAY IRRADIATION APPARATUS, AND SEMICONDUCTOR ASSEMBLY DEVICE AND INSPECTION DEVICE例文帳に追加
軟X線照射装置及び半導体の組立装置並びに検査装置 - 特許庁
The soft X-ray ionizer having an ion balance control function consists of soft X-ray irradiation equipment 1 and an electrode 2 for bias impression, which is arranged between the soft X-ray irradiation equipment 1 and a destaticized substance 5, in a soft X-ray irradiation domain, and is constituted so that plus ions or minus ions may be attracted by impressing bias voltage to the electrode 2 for bias impression.例文帳に追加
軟X線照射装置1と、軟X線照射領域内であって軟X線照射装置1と被除電物5との間に配置されるバイアス印加用電極2とを備え、バイアス印加用電極2にバイアス電圧を印加してプラスイオンまたはマイナスイオンを吸引させるイオンバランス制御機能付軟X線式イオナイザとした。 - 特許庁
The precleaning process may be conducted with plasma process, soft X-ray irradiation process, ultraviolet irradiation process, and ion-including liquid process, or the like.例文帳に追加
除電処理は、プラズマ処理、軟X線照射処理、紫外線照射処理、イオン含有液処理等により行うことができる。 - 特許庁
In the static electricity eliminator 20, a soft X-ray irradiation window 12 is installed in a container wall of a vacuum container 10, a target 14 is arranged opposite to the soft X-ray irradiation window 12 inside the vacuum container 10, and a field-emission type electron emitter 16 extending opposite to the target 14 in one direction in a longitudinal wire shape is arranged.例文帳に追加
本静電気除去装置20は、真空容器10の容器壁に軟X線照射窓12を設け、真空容器10内部ではターゲット14を軟X線照射窓12に対向配置し、ターゲット14に対向して一方向長手ワイヤ状に延びる電界放射型の電子エミッタ16を配置した構成。 - 特許庁
The static eliminating transport device is provided with a transportation robot 2 which holds and transports a charged glass substrate M, and a soft X-ray irradiation unit 3 which neutralizes charged electricity on the glass substrate M by air ion for electrostatic elimination.例文帳に追加
帯電したガラス基板Mを保持して搬送する搬送ロボット2と、ガラス基板Mに帯電した電気を空気イオンによって中和して除電する軟X線照射器3とを備える。 - 特許庁
On an arm 24 of the transportation robot 2 holding the glass substrate M, a metallic net plate 4 which is set at a ground potential is arranged to face the glass substrate M with a predetermined distance, and the soft X-ray irradiation unit 3 is arranged so that the air ion can be formed at least between the glass substrate M and the metallic net plate 4.例文帳に追加
ガラス基板Mを保持する搬送ロボット2のアーム24に、接地電位に設定された金網板4を、ガラス基板Mに所定の距離を隔てて対向するように配設し、少なくともガラス基板Mと金網板4との間に空気イオンが形成されるように軟X線照射器3を配設する。 - 特許庁
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