意味 | 例文 (655件) |
どらいえっちんぐそうちの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 655件
局所ドライエッチング装置のエッチングガス流制御装置及び方法例文帳に追加
ETCHING GAS FLOW CONTROLLER AND CONTROL METHOD OF LOCAL DRY ETCHING DEVICE - 特許庁
エッチング終点検出方法及び装置並びにドライエッチング装置例文帳に追加
METHOD AND DEVICE OF DETECTING END POINT OF ETCHING AND DRY ETCHING SYSTEM - 特許庁
ドライエッチングのエッチング量制御方法及びドライエッチング装置例文帳に追加
METHOD FOR CONTROLLING AMOUNT OF ETCHING IN DRY ETCHING PROCESS AND DRY ETCHING APPARATUS - 特許庁
エッチング進行度検出方法、エッチング方法、半導体装置の製造方法、エッチング進行度検出装置およびドライエッチング装置例文帳に追加
METHOD FOR DETECTING DEGREE OF ETCHING, ETCHING METHOD, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR, DEVICE FOR DETECTION OF ETCHING DEGREE AND DRY ETCHING DEVICE - 特許庁
ドライエッチング装置及び半導体装置の製造方法例文帳に追加
DRY ETCHING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR APPARATUS - 特許庁
ドライエッチング装置および半導体装置の製造方法例文帳に追加
DRY ETCHING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR APPARATUS - 特許庁
半導体装置の製造方法およびドライエッチング装置例文帳に追加
MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND DRY ETCHING APPARATUS - 特許庁
半導体装置の製造方法及びドライエッチング装置例文帳に追加
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND DRY ETCHING DEVICE - 特許庁
半導体装置製造方法およびドライエッチング装置例文帳に追加
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR APPARATUS AND DRY ETCHING DEVICE - 特許庁
発光を利用したドライエッチング方法、ドライエッチング制御装置及びその制御装置を備えたドライエッチング装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD USING LIGHT EMISSION, DRY ETCHING CONTROL DEVICE AND DRY ETCHING DEVICE HAVING THE CONTROL DEVICE - 特許庁
ドライエッチング装置及びそのプラズマクリーニング方法例文帳に追加
DRY ETCHING DEVICE AND ITS PLASMA CLEANING METHOD - 特許庁
ドライエッチング装置およびそのクリーニング方法例文帳に追加
DRY ETCHING APPARATUS AND ITS CLEANING METHOD - 特許庁
エッチング装置やアッシング装置といったようなドライプロセッシング装置例文帳に追加
DRY PROCESSING DEVICE SUCH AS ETCHING DEVICE AND ASHING DEVICE - 特許庁
ドライエッチング装置、エッチング方法、及び配線の形成方法例文帳に追加
DRY ETCHING APPARATUS, METHOD FO ETCHING, AND METHOD OF FORMING WIRING - 特許庁
基板のエッチング残りを防止したドライエッチング装置を提供する。例文帳に追加
To provide a dry etching device by which etching residue of a substrate is prevented. - 特許庁
ドライエッチング方法、半導体装置の製造方法及びドライエッチング装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD, MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND DRY ETCHING DEVICE - 特許庁
ドライエッチング方法、ドライエッチング装置及び半導体装置の製造方法例文帳に追加
METHOD AND SYSTEM FOR DRY ETCHING AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE - 特許庁
ドライエッチング特性評価装置およびこれを備えたドライエッチング装置例文帳に追加
DRY ETCHING CHARACTERISTIC EVALUATING APPARATUS AND DRY ETCHING APPARATUS EQUIPPED WITH THE SAME - 特許庁
終点検出装置及びドライエッチング装置例文帳に追加
END-POINT DETECTOR AND DRY ETCHING APPARATUS - 特許庁
ドライエッチング装置の異常検出方法及び装置例文帳に追加
METHOD AND DEVICE FOR DETECTING ABNORMALITY OF DRY ETCHING APPARATUS - 特許庁
ドライエッチング装置のクリーニング方法例文帳に追加
ドライエッチング装置のチャンバークリーニング方法例文帳に追加
ドライエッチング装置などの排気を効率よく行う。例文帳に追加
To exhaust gas in a dry etching system efficiently. - 特許庁
エッチング終点検出方法及び装置並びに同装置を備えたドライエッチング装置例文帳に追加
METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING END POINT OF ETCHING AND DRY ETCHING SYSTEM PROVIDED WITH THE SAME APPARATUS - 特許庁
層間絶縁膜のドライエッチング方法及びその装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD AND APPARATUS OF INTERLAYER INSULATION FILM - 特許庁
耐熱性に優れたプラズマエッチング電極及びそれを装着したドライエッチング装置例文帳に追加
PLASMA ETCHING ELECTRODE HAVING IMPROVED HEAT RESISTANCE AND DRY ETCHING SYSTEM EQUIPPED WITH IT - 特許庁
ドライエッチング装置およびその反応ガス供給方法例文帳に追加
DRY ETCHING DEVICE AND ITS REACTANT GAS SUPPLY METHOD - 特許庁
ドライエッチング方法およびその装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD AND ITS DEVICE - 特許庁
ドライエッチング装置及びそのメンテナンス方法例文帳に追加
DRY ETCHING SYSTEM AND ITS MAINTAINING METHOD - 特許庁
ドライエッチング方法及びその装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD AND APPARATUS THEREOF - 特許庁
ドライエッチング方法およびその装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD AND SYSTEM - 特許庁
ドライエッチング方法及びその装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD AND DEVICE - 特許庁
ドライエッチング装置およびその方法例文帳に追加
DRY ETCHING DEVICE AND METHOD - 特許庁
ドライエッチング方法及びその装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD, AND APPARATUS THEREOF - 特許庁
ドライエッチング方法及びその装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD AND DEVICE THEREFOR - 特許庁
銅の異方性ドライエッチング方法および装置例文帳に追加
ANISOTROPIC DRY ETCHING METHOD AND APPARATUS OF COPPER - 特許庁
ドライエッチング方法および半導体装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE - 特許庁
ドライエッチング方法及び半導体装置の製造方法例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE - 特許庁
ドライエッチング方法および半導体製造装置例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT - 特許庁
半導体装置のドライエッチング方法例文帳に追加
DRY ETCHING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE - 特許庁
ドライエッチングを用いた半導体装置の製造方法例文帳に追加
ドライエッチング装置のクリーニング方法、ドライエッチング時間の決定方法、及びドライエッチング方法例文帳に追加
METHOD FOR CLEANING DRY ETCHING APPARATUS, METHOD FOR DECIDING DRY ETCHING TIME AND DRY ETCHING METHOD - 特許庁
ドライエッチング方法及びこのドライエッチング方法を用いた半導体装置の製造方法例文帳に追加
METHOD FOR DRY ETCHING AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME - 特許庁
ドライエッチング装置及び半導体装置の製造方法、Siリング例文帳に追加
DRY ETCHING APPARATUS, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SILICON RING - 特許庁
静電チャックおよびこれを備えるドライエッチング装置例文帳に追加
ELECTROSTATIC CHUCK AND DRY ETCHING DEVICE WITH THE SAME - 特許庁
より低い基板温度においてドライエッチングを可能にするドライエッチング方法およびドライエッチング装置を提供する。例文帳に追加
To provide a dry etching method which enables dry etching at lower temperatures, and to provide a dry etching system. - 特許庁
プラズマドライエッチング方法及びこれを用いたプラズマドライエッチング装置例文帳に追加
PLASMA DRY ETCHING METHOD AND PLASMA DRY ETCHING APPARATUS USING SAME - 特許庁
ダイナミックドライエッチング装置及びこれを用いたダイナミックドライエッチング方法例文帳に追加
DYNAMIC DRY-ETCHING APPARATUS AND METHOD - 特許庁
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