意味 | 例文 (655件) |
どらいえっちんぐそうちの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 655件
ドライエッチング装置1は、基板を載置したトレイを収納するトレイストック部とプラズマ処理部11の間で前記トレイを搬送する搬送機構15と、アラインメント部14においてトレイを所定の位置に位置決めするセンタリング機構27と、位置決めされた前記トレイの前記所定の位置の高さを計測する高さ計測センサー37と、を備え、計測された前記高さからトレイ厚さ計測処理部49が前記トレイの厚さデータを算出する。例文帳に追加
A dry etching device 1 includes a transfer mechanism 15 transferring trays between a tray stock part housing each tray on which a substrate is placed and a plasma processing part 11, a centering mechanism 27 positioning each tray at a predetermined position in an alignment part 14, and a height measurement sensor 37 measuring a height of the predetermined position of the positioned tray. - 特許庁
半導体製造工場などにおける金属エッチング工程などから発生する金属イオン含有混酸廃液のような金属イオンを含有する混酸水溶液から、金属イオンを分離するとともにリン酸を高い収率で回収するにあたり、従来技術では膜処理またはイオン交換処理を行なうのが常識であったが、本発明では発想を全く変えて蒸留、抽出手段を用いた回収方法および装置の提供。例文帳に追加
To provide a method and an apparatus for separating metal ions and recovering phosphoric acid at high yield from a mixed acid aqueous solution containing the metal ions such as a metal ion-containing mixed acid waste liquid produced from a metal etching process or the like in a semiconductor manufacturing plant or the like using a distillation and extraction means in place of a membrane or an ion exchange treatment which is commonly used as a conventional technique. - 特許庁
ポリイミド樹脂からなるフィルム基材1上にシード層2を形成してなる基板の表面に配線パターン6を形成する工程と、前記配線パターン6の表面にめっき層7を形成する工程とを有する半導体装置用テープキャリアの製造方法であって、前記配線パターン6を形成した後、当該配線パターン6で覆われておらず露出している部分の前記ポリイミド樹脂からなるフィルム基材1のポリイミド表面にプラズマドライエッチング表面処理を施す工程を含んでいる。例文帳に追加
In this case, the method also includes a step to apply plasma dry etching surface treatment to the exposed polyimide surface of the film substrate 1 made of polyimide resin that is not covered with the wiring pattern 6 after the wiring pattern 6 is formed. - 特許庁
ドライエッチング法を用いて複数の凹部を形成した場合には、各凹部の内側表面の形状、即ち内側表面の曲率半径等のマイクロレンズの光学特性を決める要素を凹部毎に個別に設定できなかったが、非特許文献1及び2に開示された機械加工技術を凹部の形成に応用することによって、マイクロレンズのレンズ曲面を規定する各凹部45の内側表面の形状をマイクロレンズ毎に個別に設定できる。例文帳に追加
The manufacturing method of the exposure head includes a first step of forming a plurality of recessed portions, which define lens curved surfaces in lens formation regions of the second surface, by engraving the substrate from the second surface side and a second step of filling the plurality of recessed portions with a transparent resin and then forming the plurality of micro-lenses by curing the filled transparent resin. - 特許庁
真空中で行われるドライエッチングの微細加工の製造工程に特別な変更を加えることなく微細加工時に使用されるマスク材を二重に重ねて積層することで、製造工程中必然的に含まれる酸化過程により保護層の最表層に酸化層が形成されたとしても、MR比の低下を防止し、磁気抵抗効果素子としての性能を高く保持することができる磁気抵抗効果素子を提供する。例文帳に追加
To provide a magnetoresistance effect element that can prevent a reduction in MR ratio to keep performance as a magnetoresistance effect element high even when an oxide layer is formed as an outermost surface layer of a protection layer in an oxidation step inevitably included in a manufacturing process by laminating a mask material used for microfabrication double without specially altering the manufacturing step of microfabrication of dry etching carried out under a vacuum. - 特許庁
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