意味 | 例文 (5件) |
ALCLを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 5件
Al is made to react with hydrogen halide at a temperature of 700°C or lower to suppress the generation of aluminum chloride (AlCl) and aluminum bromide (AlBr), which react with quartz.例文帳に追加
Alとハロゲン化水素とを、700℃以下の温度で反応することで、上記課題を解決した。 - 特許庁
To suppress the generation of aluminum chloride (AlCl) and aluminum bromide (AlBr), which react with quartz, in the crystal growing of an Al-based III-V compound semiconductor by a conventional HVPE method.例文帳に追加
Alを含むIII-V族化合物半導体を従来のHVPE法で結晶成長させる場合にて、石英と反応する塩化アルミニューム(AlCl)、臭化アルミニューム(AlBr)の発生を抑制すること。 - 特許庁
In the manufacturing method, an etching rate of the second guide layer 22 is calculated on the basis of a change in AlCl emission intensity in the etching of the monitor layer 20 and the second guide layer 22 by dry etching using a chlorine type gas.例文帳に追加
本製造方法では、塩素系ガスによるドライエッチングによってモニタ層20及び第2ガイド層22がエッチングされる際のAlClの発光強度の変化に基づいて、第2ガイド層18のエッチングレートが算出される。 - 特許庁
To provide a device and a method for producing a group III-V nitride film containing at least Al, by which the effect of corrosion caused by gaseous AlCl on the film can be eliminated or reduced and by which the group III-V nitride film having good properties is produced by a chloride vapor phase epitaxial method (HVPE method).例文帳に追加
AlClガスによる腐食の影響を除去または軽減して、塩化物気相エピタキシャル法(HVPE法)によって特性が良好な、少なくともAlを含むIII−V族窒化物膜の製造装置及び製造方法を提供する。 - 特許庁
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