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differential mode interferenceの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
In the second inspection mode, the shirring direction of the differential interference optical system is set in not parallel with the extending direction of the step bunching.例文帳に追加
また、第2の検査モードでは、微分干渉光学系のシャーリング方向をステップバンチングの延在方向と平行から外れた状態に設定する。 - 特許庁
In the first inspection mode, a shirring direction of a differential interference optical system is set in parallel with an extending direction of the step bunching by adjusting the shirring direction of the differential interference optical system or a rotation angle of a stage supporting a substrate.例文帳に追加
第1の検査モードでは、微分干渉光学系のシャーリング方向を調整し又は基板を支持するステージの回転角度を調整することにより、微分干渉光学系のシャーリング方向をステップバンチングの延在方向と平行に設定する。 - 特許庁
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