セーフサーチ：オン
例文
This cryopump 10 includes: a refrigerator 12 generating frigidity by a heat cycle expanding and delivering working gas sucked in the inside; a heat shield 16 thermally connected to the refrigerator 12 and cooled to a target temperature; and a control section determining the frequency command value of the heat cycle and applying it to the refrigerator 12 so that the actual temperature of the heat shield 16 follows after the target temperature.例文帳に追加
クライオポンプ１０は、内部に吸入した作動気体を膨張させて吐出する熱サイクルによって寒冷を発生する冷凍機１２と、冷凍機１２に熱的に接続されて目標温度へと冷却される熱シールド１６と、熱シールド１６の実温度が目標温度に追従するよう熱サイクルの周波数指令値を決定して冷凍機１２に与える制御部と、を備える。 - 特許庁
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