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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > in-line annealingに関連した英語例文

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in-line annealingの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 54



例文

In the method for fabricating a semiconductor device, when a bit line 31A is formed of a W film, a second interlayer dielectric 20 underlying the W film is formed of a P-TEOS oxide film and then annealing is performed at 700-800°C for 1-30 min in nitrogen atmosphere in order to desorb an oxygen containing gas contained in the interlayer dielectric 20.例文帳に追加

開示される半導体装置の製造方法は、W膜から成るビット線31Aを形成する場合、W膜の下地となるP−TEOS酸化膜から成る第2の層間絶縁膜20を形成した後に、窒素雰囲気内で、700〜800℃で、1〜30分間アニール処理を施して、第2の層間絶縁膜20内に含まれている酸素を含むガスを脱離させる。 - 特許庁

In a buried bit line type flash memory arranged such that a bit line 5 functioning as source-drain formed by implanting impurity ions into a semiconductor substrate 1 intersects a word line 7 functioning as a gate electrode, a three layer structure ONO film 6 of silicon oxide film/silicon nitride film/silicon oxide film is formed after impurity ions for forming the bit line 5 are implanted and annealing for activation is performed.例文帳に追加

半導体基板1に不純物がイオン注入されて形成されたソース/ドレインとして機能するビットライン5と、ゲート電極として機能するワードライン7とが交差する構成の埋め込みビットライン型フラッシュメモリにおいて、ビットライン5を形成するための不純物のイオン注入及びその活性化のためのアニール処理を行った後に、シリコン酸化膜/シリコン窒化膜/シリコン酸化膜からなる3層構造のONO膜6を成膜する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a coated steel plate having a good appearance in which a coat winding phenomenon to a roll coater is not generated and no flash rust is generated even in the case of manufacturing the coated steel plate by coating the steel plate with a water base coating liquid containing an organic resin by using a coating line directly bonded to a final annealing furnace and drying/baking the same.例文帳に追加

最終焼鈍炉に直結した塗装ラインを用いて、鋼板に有機樹脂を含む水系塗液を塗布し、これを乾燥・焼き付けして塗装鋼板を製造する場合にも、ロールコーターへの塗料巻き付き現象を生ぜず、かつフラッシュラストの発生もない良好な外観を有する塗装鋼板を製造する方法を提案する。 - 特許庁

例文

A method for manufacturing a thin film transistor implants phosphorus ions on a polysilicon thin film at high concentration when manufacturing the NMOS polysilicon thin film transistor, next, activates them by furnace annealing treatment, then, implants the phosphorus ions on the polysilicon thin film at low concentration, and then obtains an inventive product having Vg-Id characteristics shown in a full line by activating them by heat treatment in a high pressure water vapor atmosphere.例文帳に追加

NMOSポリシリコン薄膜トランジスタの製造に際し、ポリシリコン薄膜にリンイオンを高濃度で注入し、次いで炉アニール処理による活性化を行ない、次いでポリシリコン薄膜にリンイオンを低濃度で注入し、次いで高圧水蒸気雰囲気中での熱処理による活性化を行なったところ、実線で示すVg−Id特性を有する本発明品が得られた。 - 特許庁


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