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pelliclesを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 9件
To provide pellicles for lithography that allows a wider range of transmissivity to inclinedly incident beams, in a photolithographic procedure.例文帳に追加
リソグラフィーに際して、斜入射光の光透過率が、許容できる範囲を拡げた、リソグラフィー用ペリクルを提供する。 - 特許庁
The pellicle film for pellicles is used in a lithography process for applying ultraviolet light with the wavelength range of 350-450 nm.例文帳に追加
３５０〜４５０ｎｍの波長域の紫外線を照射するリソグラフィ工程において用いられるペリクル用ペリクル膜。 - 特許庁
In addition, this irradiation is performed, with pellicles 12, 13 attached, preventing deposit of foreign matters and lowering in the yield in the irradiation process.例文帳に追加
また、ペリクル１２，１３を装着した状態でこの照射を行い、照射工程での異物付着歩留り低下を防止する。 - 特許庁
The pellicle utilizes alternating layers of a transparent polymer and a transparent inorganic layer to form pellicles which have high transmission properties and high strength.例文帳に追加
このペリクルは、透明なポリマーと透明な無機層の交互層を使用して、高透過率特性および高強度のペリクルを形成する。 - 特許庁
The dioxins-degrading agent contains one or more of a pulverized product of fungus body of the bacteria, and a fractionated product of the pulverized product of the fungus body, wherein, the pulverized product of the fungus body includes a pulverized product of pellicles of the bacteria, and the fractionated product includes the fractionated product of the pellicles.例文帳に追加
更に前記菌の菌体破砕物、及び前記菌体破砕物の分画物のいずれか一以上を含有するダイオキシン類分解剤であって、前記菌体破砕物が前記菌の菌体膜の破砕物を含み、前記分画物が前記菌体膜の分画物を含む、ダイオキシン類分解剤。 - 特許庁
To provide an adhesive material composition for pellicles which has an adequate power for sticking both of a chromium thin film surface and a quartz surface to a substrate and hardly remains on the substrate surfaces when peeled off.例文帳に追加
クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して適切な付着力を有し、剥離時に基材表面に残りにくいペリクル用粘着材組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a method for storing pellicles, even in storing, transporting, and opening, being unlikely to generate dust and preventing contamination of a product stored in a bag, especially, the pellicle stored inside a pellicle case.例文帳に追加
保管・輸送・開封に際しても、発塵することが少なく、袋に収納する製品、特にはペリクル容器の内部に収納されたペリクルを汚染することのないペリクル収納方法を提供する。 - 特許庁
The pellicles used in photolithography that uses ArF excimer laser beams with a pellicle membrane having a thickness of 400 nm or smaller, when the pellicle membrane exhibits a local maximum transmissivity to a vertically incident ArF excimer laser beam.例文帳に追加
ＡｒＦエキシマレーザー光を用いたリソグラフィーに使用されるペリクルであって、そのペリクル膜厚が垂直入射のＡｒＦレーザー光に対して極大透過率を示す膜厚である場合に、そのペリクル膜の膜厚が４００ｎｍ以下であることを特徴とする。 - 特許庁
The method for storing pellicles includes: putting the case storing the pellicle in a first bag for cleanliness specifications and closing its opening; putting it in a second bag with antistatic function and closing its opening; and further putting it in a third bag with the antistatic function and tightly sealing it.例文帳に追加
ペリクルを収納した容器をクリーン仕様の第一の袋に入れてその口を閉じ、次いでこれを帯電防止機能を有する第二の袋に入れてその口を閉じ、更に帯電防止機能を有する第三の袋に入れて密閉することを特徴とするペリクル収納方法である。 - 特許庁
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