例文 (319件) |
projection lithographyの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 319件
LITHOGRAPHY MANUFACTURING METHOD, LITHOGRAPHY PROJECTION APPARATUS, AND MANUFACTURED DEVICE例文帳に追加
リソグラフィ製造法、リソグラフィ投影装置、および製造したデバイス - 特許庁
LITHOGRAPHY PROJECTION EQUIPMENT AND DEVICE MANUFACTURING METHOD USING THE LITHOGRAPHY PROJECTION EQUIPMENT例文帳に追加
リソグラフィ投影装置及びそのリソグラフィ投影装置を使用するデバイス製造方法 - 特許庁
MOVING STAGE FOR LITHOGRAPHY PROJECTION EQUIPMENT SYSTEM, LITHOGRAPHY PROJECTION EQUIPMENT, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
リソグラフィ投影装置用可動ステージ・システム、リソグラフィ投影装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
To provide a method of designing a projection system for a lithography projection apparatus, to provide a lithography apparatus comprising the projection system, and to provide a method for manufacturing a device by using the projection system.例文帳に追加
投影システム設計方法、リソグラフィー装置およびデバイスを製造するための方法を提供する。 - 特許庁
PROJECTION EXPOSURE METHOD AND PROJECTION EXPOSURE DEVICE FOR MICRO LITHOGRAPHY例文帳に追加
マイクロリソグラフィのための投影露光方法及び投影露光装置 - 特許庁
The storage position adjoins a projection system of the lithography device.例文帳に追加
保管位置は、リソグラフィ装置の投影系に隣接する。 - 特許庁
PROJECTION ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY MASK例文帳に追加
投影電子ビーム・リソグラフィ・マスク - 特許庁
CALIBRATION METHOD OF LITHOGRAPHY PROJECTION APPARATUS例文帳に追加
リトグラフィー投影装置の較正方法 - 特許庁
INTEGRAL WAVE GUIDE USED FOR LITHOGRAPHY PROJECTION APPARATUS例文帳に追加
リソグラフィ投影装置に使用するための積分導波管 - 特許庁
CLEANING GAS SYSTEM IN LITHOGRAPHY PROJECTION SYSTEM例文帳に追加
リソグラフ投影装置に用いる洗浄ガスシステム - 特許庁
OPTICAL SYSTEM FOR MICRO-LITHOGRAPHY PROJECTION ALIGNER例文帳に追加
マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学システム - 特許庁
LITHOGRAPHY PROJECTION EQUIPMENT AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
リソグラフィ投影装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
LITHOGRAPHY PROJECTION APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
リソグラフィ投影装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
REFRACTIVE PROJECTION OBJECTIVE LENS FOR IMMERSION LITHOGRAPHY例文帳に追加
液浸リソグラフィー用屈折性投影対物レンズ - 特許庁
ILLUMINATION OPTICAL UNIT FOR PROJECTION LITHOGRAPHY例文帳に追加
投影リソグラフィのための照明光学ユニット - 特許庁
LITHOGRAPHY PROJECTION EQUIPMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
リソグラフィ投影装置およびデバイス製造方法 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM FOR MICRO LITHOGRAPHY例文帳に追加
マイクロリソグラフィのための投影光学系 - 特許庁
PROJECTION OPTICAL SYSTEM FOR MASKLESS LITHOGRAPHY例文帳に追加
マスクレス・リソグラフィのための投影光学系 - 特許庁
In the lithography projection apparatus, space between a final element of the projection system and a substrate table of the lithography projection apparatus is surrounded by a sealing member.例文帳に追加
リソグラフィ投影装置において、投影システムの最終素子とリソグラフィ投影装置の基板テーブル間のスペースをシール部材にて囲む。 - 特許庁
In a lithography projection apparatus, a space between a final element of a projection system and a substrate table of the lithography projection apparatus is surrounded by a sealing member.例文帳に追加
リソグラフィ投影装置において、投影システムの最終素子とリソグラフィ投影装置の基板テーブル間のスペースをシール部材にて囲む。 - 特許庁
LITHOGRAPHY EQUIPMENT, DEVICE MANUFACTURE METHOD, AND PROJECTION ELEMENT FOR LITHOGRAPHY EQUIPMENT例文帳に追加
リソグラフィ装置、デバイス製造方法、及びリソグラフィ装置用の投影要素 - 特許庁
LITHOGRAPHY PROJECTION MASK, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE BY LITHOGRAPHY PROJECTION MASK, AND DEVICE MANUFACTURED BY THIS METHOD例文帳に追加
リソグラフィ投影マスク、リソグラフィ投影マスクによるデバイス製造方法、およびこの方法により製造したデバイス - 特許庁
LITHOGRAPHY PROJECTION APPARATUS, PURGE GAS SUPPLY SYSTEM AND GAS PURGE例文帳に追加
リソグラフ投影装置、パージガス供給システムおよびガスパージ - 特許庁
STENCIL RETICLE INCLUDING SCATTERING PATTERN FOR ELECTRON BEAM PROJECTION LITHOGRAPHY例文帳に追加
電子ビーム投影リソグラフィ用の散乱パターンを含むステンシルレチクル - 特許庁
ELECTRON BEAM PROJECTION LITHOGRAPHY SYSTEM HAVING PLURAL OPENINGS例文帳に追加
複数の開口を持つ電子ビーム投影リソグラフィシステム - 特許庁
OFF-AXIS REFLECTION/REFRACTION TYPE PROJECTION OPTICAL SYSTEM FOR LITHOGRAPHY例文帳に追加
リソグラフィ用のオフアクシス反射屈折投影光学系 - 特許庁
MASK FOR ELECTRON BEAM PROJECTION LITHOGRAPHY AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
電子ビーム・プロジェクション・リソグラフィ用マスクとその製造方法 - 特許庁
TRANSMISSION MASK IN PROJECTION LITHOGRAPHY SYSTEM AND MASK EXPOSURE SYSTEM例文帳に追加
投影リソグラフィシステム用の透過マスク及びマスク露光システム - 特許庁
A birefringence compensating element is arranged in the optical path of a lithography projection apparatus.例文帳に追加
複屈折補償要素をリソグラフィ投影装置の光路に配置する。 - 特許庁
OBJECT POSITIONING METHOD FOR LITHOGRAPHY PROJECTION APPARATUS AND DEVICE例文帳に追加
リソグラフィ投影装置のためのオブジェクト位置決め方法およびデバイス - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING MATERIAL OF OBJECTIVE PROJECTION LENS FOR LIQUID IMMERSION LITHOGRAPHY例文帳に追加
液浸リソグラフィー用投影対物レンズの材料の製造方法 - 特許庁
SEALING ASSEMBLY, LITHOGRAPHY PROJECTION APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
シーリング組立体、リソグラフィ投影装置、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
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