To provide a mask for suppressing deformation of a pattern caused by radiation heat of illumination light for exposure. 露光用の照明光の照射熱によるパターンの変形を抑制できるマスクを提供する。 - 特許庁
ACTIVE RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PATTERN USING THE SAME 感活性光線または感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD OF FORMING PATTERN THEREWITH 感活性光線または感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition capable of forming a resist pattern having small LWR (line width roughness) and excellent pattern shape. LWRが小さく、かつ、パターン形状に優れたレジストパターンを形成可能である感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition capable of forming a resist pattern having a small LWR and an excellent pattern form. LWRが小さく、かつ、パターン形状に優れたレジストパターンを形成可能である感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition which is capable of forming a resist pattern that has low LWR and excellent pattern shape. LWRが小さく、かつ、パターン形状に優れたレジストパターンを形成可能である感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
RADIATION CURABLE COMPOSITION, ITS STORING METHOD, CURED FILM FORMING METHOD, PATTERN FORMING METHOD, PATTERN USAGE, ELECTRONIC COMPONENT, AND OPTICAL WAVEGUIDE 放射線硬化性組成物、その保存方法、硬化膜形成方法、パターン形成方法、パターン使用方法、電子部品及び光導波路 - 特許庁
Thus, the radiation loss of the circuit pattern 5 can be prevented and the radiation electrode 3 can transmit or receive a radio wave excellently. これにより、回路パターン5の放射損失を防止できるし、放射電極3は電波の送信あるいは受信を良好に行うことができる。 - 特許庁
To provide a radiation sensitive resin composition having high transparency to a short wavelength radiation and excellent in solubility in a developer, sensitivity, pattern shape and etching resistance. 短波長の放射線に対する透明性が高く、現像液に対する溶解性に優れ、感度、パターン形状、エッチング耐性に優れる。 - 特許庁
To provide an antenna system and high frequency sensor capable of obtaining a preset radiation direction (angle) and a preset radiationpattern of a radio wave while maintaining compactness. コンパクトさを維持しつつ、予め設定した、電波の放射方向(角度)や放射パターンを得ることができる高周波センサを提供する。 - 特許庁
The radiation-curable composition is used for the method of manufacturing the rugged pattern sheet by making a rugged pattern die in press contact with a sheet W, in which the liquid radiation-curable composition is applied on its surface, and transferring the rugged pattern of the rugged pattern die to the surface of the sheet. 表面に液状の放射線硬化性組成物が塗布されたシートWに凹凸型を密着させ、この凹凸型表面の凹凸形状をシートの表面に転写形成する凹凸状シートの製造方法に使用される放射線硬化性組成物である。 - 特許庁
To provide an actinic ray- or radiation-sensitive resin composition, an actinic ray- or radiation-sensitive film, mask blanks, and a pattern formation method, which enable pattern formation with excellent shapes. 良好な形状のパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、マスクブランクス、及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
The feeding radiation electrode 3 is formed as the capacitance feeding type radiation electrode which is fed from the feeding pattern 5 via a capacitance provided between the feeding pattern 5 and open end α. 給電放射電極3は、給電用パターン5から、当該給電用パターン5と開放端部α間の容量を介して給電される容量給電タイプの放射電極と成している。 - 特許庁
It is so constructed that beam radiation with a fog-lamp light distribution pattern is done by lighting of a front filament 18a and beam radiation with a high-beam distribution pattern is done by a rear filament 18b. 前部フィラメント18aの点灯によりフォグランプ配光パターンでビーム照射を行うとともに、後部フィラメント18bの点灯によりハイビーム配光パターンでビーム照射を行う構成とする。 - 特許庁
To provide a radiation sensitive resin composition for forming a fine line pattern particularly even when the space width of a line-and-space pattern is wide and excellent also in transparency, sensitivity and resolution to radiation. 特に、ライン・アンド・スペースパターンのスペース幅が広い場合にも、微細なラインパターンを形成でき、しかも放射線に対する透明性、感度、解像度等にも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
ACTINIC-RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND ACTINIC-RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE FILM AND PATTERN FORMING METHOD USING THE COMPOSITION 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、この組成物を用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法 - 特許庁
ACTIVE ENERGY RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, AND PATTERN FORMING METHOD USING ACTIVE ENERGY RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION 感活性光線または感放射線性樹脂組成物、及び該感活性光線または感放射線性樹脂組成物を用いたパターン形成方法 - 特許庁
The planar antenna is composed of a radiation conductor plate 8 and a full face ground pattern 12 on the radiation conductor side of a substrate mounted a control circuit for a wireless adapter. 板状アンテナを、放射導体板8と無線アダプタの制御回路を実装した基板の放射導体側の全面グランドパターン12とで構成する。 - 特許庁
RADIATION SENSITIVE ACID GENERATOR FOR LIQUID IMMERSION LITHOGRAPHY, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR LIQUID IMMERSION LITHOGRAPHY, AND RESIST PATTERN FORMING METHOD 液浸露光用感放射線性酸発生剤、その製造方法、液浸露光用感放射線性樹脂組成物およびレジストパターン形成方法 - 特許庁
ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, AS WELL AS ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE FILM AND PATTERN FORMING METHOD USING THE SAME 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、及び、パターン形成方法 - 特許庁
ACTINIC RAY SENSITIVE OR RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION, AND ACTINIC RAY SENSITIVE OR RADIATION SENSITIVE FILM AND METHOD FOR FORMING PATTERN USING THE SAME 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法 - 特許庁
To provide a radiation-detection sensor of a compact configuration, which has a radiation-detection conductor pattern and carries out part of signal processing. コンパクトな構成で、放射線検出の導体パターン具有から信号処理の一部までを担うことができる放射線検出センサを提供すること。 - 特許庁
Although the radiation heater is arranged in a manner not to become an obstacle for the toddler and the carer, heat is applied to the toddler by a uniform radiationpattern as a whole body. 輻射加熱器は、幼児及び世話係の邪魔にならないよう配置されているが、全体として一様な輻射パターンで熱を幼児に与える。 - 特許庁
To provide an antenna module capable of suppressing radiation spurious electromagnetic waves caused by a surface wave, thereby reducing distortion in a radiationpattern. 表面波に起因する不要電磁波の放射を抑制し、それによる放射パターンの歪みを低減したアンテナモジュールを提供することを目的とする。 - 特許庁
Thus, the light source device having the radiation intensity distribution suitable for the radiationpattern mask of IrDA1.1 at the minimum optical output can be obtained. こうすることによって、最小の光出力で、IrDA1.1の放射パターンマスクに適合した放射強度分布を有する光源装置を得ることができる。 - 特許庁
To provide a chemical amplification type radiation sensitive resist composition giving an improved resist pattern shape independently of the wavelength of ionizing radiation for irradiation. 照射する電離放射線の波長に依存せずに、レジストパターン形状が向上した化学増幅型の感放射線レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁
ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE FILM USING THE SAME AND PATTERN FORMATION METHOD 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、この組成物を用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法 - 特許庁
To provide a radiation EMI measuring device capable of shortening a measuring time, and measuring by a uniform radiationpattern even in a near-field measurement. 測定時間の短縮化や近傍界測定においても均一な放射パターンによる測定が可能な放射EMI測定装置を提供する。 - 特許庁
The first mask pattern 21 is a pattern having a light condensing function and such a property that the amount of exposing radiation on a transfer body changes depending on focus variation, wherein the first mask pattern is a two-dimensional Fresnel zone pattern. 第1のマスクパターン21は、集光作用を有し、被転写体に対する露光照射量が焦点変動に依存して変化する性質を有するパターンであり、ここでは2次元のフレネル輪帯パターンとされている。 - 特許庁
One or both of an antenna pattern 2 and a ground pattern 3 for reflecting the radiation radio wave of the antenna pattern 2 are buried in the glass substrate 1, thus composing the high-gain antenna such as a batch antenna, and protecting the pattern. ガラス基板1の内部に、アンテナパターン2及びこのアンテナパターン2の放射電波を反射するグランドパターン3のいずれか一方又は双方を埋設し、パッチアンテナのような利得の高いアンテナを構成し、パターンを保護する。 - 特許庁
RADIATION-CURING COMPOSITION, METHOD FOR STORING THE SAME, METHOD FOR FORMING CURED FILM, PATTERN FORMING METHOD, PATTERN USING METHOD, ELECTRONIC COMPONENT, AND OPTICAL WAVEGUIDE 放射線硬化性組成物、その保存方法、硬化膜形成方法、パターン形成方法、パターン使用方法、電子部品及び光導波路 - 特許庁
An antenna pattern (20) that is composed of the radiation element (21), the feed line (22), the ground pattern (23), and the sleeve (24) is formed on the same plane. 放射素子(21)と給電ライン(22)とグランドパターン(23)とスリーブ(24)とからなるアンテナパターン(20)が、同一平面上に形成されている。 - 特許庁
The pattern on the electronic component side where the IC 11 and the like are mounted and connected is thermally connected to the heat radiationpattern 17 through a through hole 16. IC11などを搭載接続する電子部品側のパターンはスルーホール16によって放熱パターン17に熱的に接続されている。 - 特許庁
RADIATION-CURING COMPOSITION, METHOD FOR STORING THE SAME, METHOD FOR FORMING CURED FILM, METHOD FOR FORMING PATTERN, METHOD FOR USING PATTERN, ELECTRONIC COMPONENT AND OPTICAL WAVEGUIDE 放射線硬化性組成物、その保存方法、硬化膜形成方法、パターン形成方法、パターン使用方法、電子部品及び光導波路 - 特許庁
The far field radiationpattern is found by subtracting error electric field pattern calculated theoretically from the measured result in the Fresnel region. フレネル領域における測定結果から、理論的に計算される誤差電界パターンを引き算することによって遠方界放射パターンを求める。 - 特許庁
To provide a radiation image processing unit that can obtain an excellent radiation image with a component of a grid pattern eliminated therefrom from a radiation image obtained by radiography employing a grid. グリッドを使用した放射線撮影により得られた放射線画像から、グリッド縞の成分が除去された良好な放射線画像を得ることのできる放射線画像処理装置を提供する。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition which effectively responds to a radiation of ≤200 nm wavelength, has high transparency to the radiation, is free of pattern falling, and has excellent resolution. 波長200nm以下の放射線に有効に感応し、放射線に対する透明性が高く、かつパターン倒れが起きず、しかも解像度等にも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
ACTIVE RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, FILM AND PATTERN FORMING METHOD USING THE COMPOSITION 感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、膜及び該組成物を用いたパターン形成方法 - 特許庁
ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD USING THE SAME 感活性光線または感放射線性樹脂組成物、および該組成物を用いたパターン形成方法 - 特許庁
ACTINIC-RAY- OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD OF FORMING PATTERN USING THE COMPOSITION 感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、及び該組成物を用いたパターン形成方法 - 特許庁
ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION/FILM, AND PATTERN FORMING METHOD USING THIS COMPOSITION 感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、膜及び該組成物を用いたパターン形成方法 - 特許庁
ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, RESIST FILM USING THE SAME, AND PATTERN FORMATION METHOD 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、それを用いたレジスト膜及びパターン形成方法 - 特許庁
ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, RESIST FILM USING THE SAME, AND PATTERN FORMING METHOD 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、これを用いたレジスト膜、及び、パターン形成方法 - 特許庁
ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PATTERN USING THE COMPOSITION 感活性光線性または感放射線性樹脂組成物及び該組成物を用いたパターン形成方法 - 特許庁
ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, RESIST FILM AND PATTERN-FORMING METHOD USING THE SAME 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、及びそれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive resin composition capable of forming a cured resin pattern which ensures small degassing amount. 脱ガス量が少ない硬化樹脂パターンを形成しうる感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
ACTINIC RAY-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PATTERN BY USING THE SAME 感活性光線性または感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
RESIN COMPOSITION SENSITIVE TO ACTIVE ENERGY RADIATION AND POLYMER PATTERN FORMING METHOD USING THE SAME 感活性エネルギー線樹脂組成物、及び、該樹脂組成物を用いてなる高分子パターンの形成方法 - 特許庁
A heat radiation plate 31 is stuck almost entirely on the top surface of a film 22 with adhered pattern wires 21. パターン配線21が被着されたフィルム22の表面の略全面に、放熱板31を貼り付ける。 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING RESIN FOR RESIST, RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION AND METHOD OF MANUFACTURING RESIST PATTERN USING THE COMPOSITION レジスト用樹脂の製造方法、感放射線性組成物およびこれを用いたレジストパターンの製造方法 - 特許庁