CONTROL METHOD FOR REACTIVE SPUTTERING 反応性スパッタリングの制御方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING SPUTTERING TARGET MATERIAL スパッタリングターゲット材の製造方法 - 特許庁
SPUTTERING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD スパッタリング装置および製造方法 - 特許庁
SPUTTERING CATHODE AND FILM DEPOSITION METHOD スパッタリングカソード及び成膜方法 - 特許庁
TESTING METHOD OF TARGET FOR SPUTTERING スパッタリング用ターゲットの検査方法 - 特許庁
MAGNETRON SPUTTERINGMETHOD WITH MULTIPLEX MAGNETIC POLES 多重磁極マグネトロンスパッタ方法 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING SPUTTERING TARGET MATERIAL スパッタリングターゲット材の製造方法 - 特許庁
SPUTTERING SYSTEM AND FILM DEPOSITION METHOD スパッタリング装置及び成膜方法 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR SPUTTERING スパッタリングのための方法及び装置 - 特許庁
SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR スパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, AND PRODUCTION METHOD THEREFOR スパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
FILM DEPOSITION METHOD AND SPUTTERING APPARATUS 成膜方法およびスパッタリング装置 - 特許庁
SPUTTERINGMETHOD AND FILM DEPOSITION APPARATUS スパッタリング方法及び成膜装置 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING TANTALUM SPUTTERING TARGET タンタルスパッタリングターゲットの製造方法 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING TARGET FOR SPUTTERING スパッタリング用ターゲットの製造方法 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR MAGNETRON SPUTTERING マグネトロンスパッタリング方法および装置 - 特許庁
TARGET PROTECTING METHOD AND SPUTTERING DEVICE ターゲット保護方法及びスパッタ装置 - 特許庁
SPUTTERING DEVICE AND METHOD スパッタリング装置およびスパッタリング方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, MANUFACTURING METHOD FOR THE SPUTTERING TARGET, AND ALUMINUM WIRING FILM AND ELECTRONIC COMPONENT USING THE SPUTTERING TARGET スパッタリングターゲットとその製造方法、およびそれを用いたAl配線膜と電子部品 - 特許庁
FACING-TARGET TYPE SPUTTERING APPARATUS, AND FACING-TARGET TYPE SPUTTERINGMETHOD 対向ターゲット式スパッタ装置及び対向ターゲット式スパッタ方法 - 特許庁
PHOTORECORDING MEDIUM, SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING METHOD OF PHOTORECORDING MEDIUM AND SPUTTERING TARGET 光記録媒体、スパッタリングターゲット、及びそれらの製造方法 - 特許庁
BACKING PLATE USED IN SPUTTERING APPARATUS, AND SPUTTERINGMETHOD スパッタリング装置に用いられるバッキングプレートおよびスパッタリング方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, AND SPUTTERINGMETHOD USING THE TARGET スパッタリング用のターゲット及びこのターゲットを用いたスパッタリング方法 - 特許庁
PLANER MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS AND PLANER MAGNETRON SPUTTERING FILM DEPOSITION METHOD プレーナマグネトロンスパッタ装置およびプレーナマグネトロンスパッタ成膜方法 - 特許庁
FILM DEPOSITION METHOD BY SPUTTERING, OPTICAL MEMBER AND SPUTTERING DEVICE スパッタによる膜の形成方法、光学部材、およびスパッタ装置 - 特許庁
FACING-TARGET TYPE SPUTTERING APPARATUS AND FACING-TARGET TYPE SPUTTERINGMETHOD 対向ターゲット式スパッタ装置及び対向ターゲット式スパッタ方法 - 特許庁
SPUTTERING EQUIPMENT FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SPUTTERINGMETHOD THEREFOR 半導体装置製造用スパッタリング設備及びスパッタリング方法 - 特許庁
SPUTTERING SYSTEM AND FILM DEPOSITION METHOD スパッタリング装置および成膜方法 - 特許庁
SPUTTERING SYSTEM AND FILM DEPOSITION METHOD スパッタリング装置、および成膜方法 - 特許庁
METHOD FOR FORMING SPUTTERING FILM, METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE, AND SPUTTERING SYSTEM スパッタリング成膜方法、電子デバイスの製造方法及びスパッタリング装置 - 特許庁
SPUTTERING APPARATUS AND FILM DEPOSITION METHOD スパッタリング装置および成膜方法 - 特許庁
OPPOSING TARGET SPUTTERING APPARATUS AND METHOD 対向ターゲットスパッタ装置及び方法 - 特許庁
SYSTEM AND METHOD FOR SPUTTERING スパッタリング装置およびスパッタリング方法 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR SPUTTERING スパッタリング方法およびスパッタリング装置 - 特許庁
SPUTTERING SYSTEM AND FILM-FORMING METHOD スパッタリング装置および成膜方法 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING In SPUTTERING TARGET Inスパッタリングターゲットの製造方法 - 特許庁
SPUTTERINGMETHOD, SPUTTERING SYSTEM, AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTROPHOTOGRAPHIC PHOTORECEPTOR スパッタリング方法、スパッタリング装置及び電子写真感光体の製造方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET AND FILM-FORMING METHOD スパッタリングターゲットおよび成膜方法 - 特許庁
METHOD FOR PREVENTING DEVELOPMENT OF PARTICLES IN SPUTTERING APPARATUS, SPUTTERINGMETHOD, SPUTTERING APPARATUS AND MEMBER FOR COATING スパッタリング装置におけるパーティクル発生防止方法、スパッタリング方法、スパッタリング装置及び被覆用部材 - 特許庁
SPUTTERING CATHODE, SPUTTERING APPARATUS PROVIDED WITH SPUTTERING CATHODE, FILM-FORMING METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE スパッタリングカソード、スパッタリングカソードを備えたスパッタリング装置、成膜方法、および電子装置の製造方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, SPUTTERING APPARATUS, SPUTTERINGMETHOD AND PROGRAM FOR MAKING COMPUTER PERFORM THE METHOD スパッタリングターゲット及びスパッタリング装置、スパッタリング方法及びその方法をコンピュータに実行させるためのプログラム - 特許庁
SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME スパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
SPUTTERING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD スパッタリング装置及び膜形成方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR THE PREPARATION THEREOF スパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
SPUTTERING APPARATUS AND ITS USE METHOD スパッタリング装置及びその使用方法 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING TITANIUM MATERIAL FOR SPUTTERING スパッタリング用チタン材の製造方法。 - 特許庁
METHOD FOR FORMING DEPOSITED FILM BY SPUTTERING スパッタによる堆積膜形成方法 - 特許庁
ELECTRIC DISCHARGE RETAINING METHOD FOR SPUTTERING PROCESS スパッタ法における放電維持方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET AND PRODUCTION METHOD FOR THE TARGET スパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET AND ARRANGING METHOD THEREFOR スパッタリングターゲット及びその配置方法 - 特許庁