FILM-FORMING METHOD BY GAS-FLOW SPUTTERING AND APPARATUS THEREFOR ガスフロースパッタリング成膜方法及び装置 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL DISK, AND SPUTTERING SYSTEM 光ディスクの製造方法及びスパッタ装置 - 特許庁
TANTALUM SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF タンタルスパッタリングターゲット及びその製造方法 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD OF OPTICAL DISK AND SPUTTERING DEVICE 光ディスクの製造方法及びスパッタ装置 - 特許庁
TUNGSTEN SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING METHOD タングステンスパッタリングターゲットおよびその製造方法 - 特許庁
TARGET MATERIAL FOR SPUTTERING AND PRODUCTION METHOD THEREFOR スパッタリング用ターゲット及びその製造方法 - 特許庁
REACTIVE SPUTTERING DEPOSITION DEVICE AND METHOD 反応性スパッタリング蒸着装置及び方法 - 特許庁
MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS AND THIN FILM MANUFACTURING METHOD マグネトロンスパッタ装置及び薄膜製造方法 - 特許庁
SPUTTERING APPARATUS, AND DEPOSITED FILM FORMING METHOD スパッタリング装置および堆積膜形成方法 - 特許庁
REACTIVE SPUTTERING DEVICE AND FILM DEPOSITION METHOD 反応性スパッタリング装置及び成膜方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, SPUTTERING DEVICE AND LIQUID-SPOUTING HEAD スパッタリングターゲットとその製造方法及びスパッタリング装置並びに液体噴射ヘッド - 特許庁
SPUTTERING TARGET MATERIAL, MAGNETIC RECORDING MEDIUM AND PRODUCTION METHOD OF SPUTTERING TARGET MATERIAL スパッタターゲット材料、磁気記録媒体及びスパッタターゲット材料の製造方法 - 特許庁
SINTERED COMPACT FOR SPUTTERING TARGET MATERIAL, ITS MANUFACTURING METHOD, AND SPUTTERING TARGET スパッタリングのターゲット材用焼結体、その製造方法、及びスパッタリング用ターゲット - 特許庁
SPUTTERING TARGET, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, SPUTTERING APPARATUS USING IT, AND SEMICONDUCTOR DEVICE スパッタリングターゲット及びその製造方法これを用いたスパッタ装置、半導体装置 - 特許庁
COPPER SPUTTERING TARGET MATERIAL FOR TFT, COPPER FILM FOR TFT, AND SPUTTERINGMETHOD TFT用銅スパッタリングターゲット材、TFT用銅膜、及びスパッタリング方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET MATERIAL, METHOD FOR PRODUCING ALUMINUM MATERIAL FOR SPUTTERING TARGET MATERIAL, AND ALUMINUM MATERIAL FOR SPUTTERING TARGET MATERIAL スパッタリングターゲット材、スパッタリングターゲット材用アルミニウム材の製造方法及びスパッタリングターゲット材用アルミニウム材 - 特許庁
More preferably, the PVD method is an evaporation method or a sputteringmethod. PVD法が、蒸着法、スパッタリング法であるとさらに好ましい。 - 特許庁
SPUTTERING APPARATUS, TRAP FOR SPUTTERING, FILM-FORMING METHOD AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE APPARATUS スパッタリング装置、スパッタリング用トラップ、成膜方法および有機電界発光装置の製造方法 - 特許庁
TARGET MEMBER FOR SPUTTERING, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR スパッタリング用ターゲット部材およびその製造法 - 特許庁
SPUTTER FILM DEPOSITION MACHINE, AND SPUTTERING FILM DEPOSITION METHOD スパッタ成膜機及びスパッタリング成膜方法 - 特許庁
IRON SILICATE SPUTTERING TARGET AND PRODUCTION METHOD THEREFOR 珪化鉄スパッタリングターゲット及びその製造方法 - 特許庁
MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM AND THIN FILM PRODUCTION METHOD マグネトロンスパッタリング装置及び薄膜の製造法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET FOR OPTICAL DISK AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR 光ディスク用スパッタリングターゲットとその製造法 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING INDIUM OXIDE-BASED SPUTTERING TARGET 酸化インジウム系スパッタリングターゲットの製造方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, AND METHOD FOR MANUFACTURING MASK BLANK スパッタリングターゲット、及びマスクブランクの製造方法 - 特許庁
SPUTTERINGMETHOD CONTROLLED BY PLASMA EMMISION MONITOR プラズマ発光モニターで制御されたスパッタ方法 - 特許庁
REFURBISHED SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MAKING THE SAME 再製スパッタリングターゲット及びその製造方法 - 特許庁
ERBIUM SPUTTERING TARGET, AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME エルビウムスパッタリングターゲット及びその製造方法 - 特許庁
TUNGSTEN SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF タングステンスパッタリングターゲットおよびその製造方法 - 特許庁
METHOD OF FORMING METAL BLANK FOR SPUTTERING TARGET スパッタリングターゲット用金属ブランクの形成方法 - 特許庁
SILVER ALLOY SPUTTERING TARGET AND ITS PRODUCING METHOD 銀合金スパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
METHOD FOR BONDING SPUTTERING TARGET TO RECEIVING BOARD スパッタリングターゲットを受け板に接合する方法 - 特許庁
ITO SPUTTERING TARGET, AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME ITOスパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
SPLIT SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME 分割スパッタリングターゲット及びその製造方法 - 特許庁
SPUTTERINGMETHOD AND SYSTEM, AND METHOD FOR PRODUCING ELECTRONIC COMPONENT スパッタリング方法及び装置及び電子部品の製造方法 - 特許庁
METHOD OF VAPOR DEPOSITION OF HEUSLER ALLOY BY CO- SPUTTERINGMETHOD 同時スパッタリング法によるホイスラー合金の蒸着方法 - 特許庁
BIAS SPUTTERINGMETHOD AND METHOD FOR PRODUCING ELASTIC WAVE APPARATUS バイアススパッタリング方法及び弾性波装置の製造方法 - 特許庁
SPUTTERINGMETHOD, DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING ELECTRONIC COMPONENT スパッタリング方法及び装置及び電子部品の製造方法 - 特許庁
ELECTRICALLY CONDUCTIVE FILM, SPUTTERING TARGET USING THE SAME AND METHOD FOR PRODUCING SPUTTERING TARGET 導電性フィルム、これを用いたスパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 - 特許庁
The chromium film 19B is formed by a sputteringmethod using a sputtering system 50. クロム膜19Bは、スパッタリング装置50を用い、スパッタリング法によって形成する。 - 特許庁
To provide a method for controlling ion density and sputtering rate in a sputtering system. スパッタリングシステムにおいてイオン密度とスパッタ率を制御する方法を提供する。 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING FOR COBALT SPUTTERING TARGET WITH LOW MAGNETIC PERMEABILITY 低透磁率コバルトスパッターターゲットの製造方法 - 特許庁
METHOD OF FORMING WIRING, AND PLASMA SPUTTERING REACTOR 配線を形成する方法及びプラズマスパッタリアクタ - 特許庁
Ag BASED SPUTTERING TARGET AND ITS PRODUCTION METHOD Ag系スパッタリングターゲット及びその製造方法 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING METAL SPUTTERING TARGET 金属スパッタリング・ターゲット材料を作成する方法 - 特許庁
ITO SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME ITOスパッタリングターゲット及びその製造方法 - 特許庁
TITANIUM NITRIDE SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME 窒化チタンスパッタリングターゲットおよびその製造方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING SPUTTERING TARGET PROVIDED WITH BACKING PLATE バッキングプレート付きスパッタリングターゲットの製造方法 - 特許庁
SPUTTERING APPARATUS, AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE スパッタリング装置、及び電子デバイスの製造方法 - 特許庁
MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM, AND THIN FILM DEPOSITION METHOD マグネトロンスパッタリング装置および薄膜形成方法 - 特許庁