SPUTTERING TARGET FOR FORMING ALUMINUM-ALLOY FILM アルミニウム合金膜形成用スパッタリングターゲット - 特許庁
SINTERING FURNACE FOR SPUTTERING TARGET AND PRODUCTION OF ITO SPUTTERING TARGET USING THE SAME スパッタリングタ—ゲット用焼結炉およびそれを用いたITOスパッタリングタ—ゲットの製造方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, WIRING FILM, AND ELECTRONIC PARTS スパッタリングターゲット、配線膜および電子部品 - 特許庁
ITO SPUTTERING TARGET AND ITS PRODUCTION ITOスパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
SPUTTERING APPARATUS AND SPUTTERING METHOD, AND DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING PLASMA DISPLAY PANEL スパッタリング装置及びスパッタリング方法、プラズマディスプレイパネルの製造装置及び製造方法 - 特許庁
Ni-Mo BASED ALLOY SPUTTERING TARGET PLATE Ni−Mo系合金スパッタリングターゲット板 - 特許庁
ELASTOMER BONDING OF LARGE AREA SPUTTERING TARGET 大面積スパッタリングターゲットのエラストマー接着 - 特許庁
FERROMAGNETIC SPUTTERING TARGET, MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM, AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE 強磁性体スパッタリングターゲット、マグネトロンスパッタリング装置、及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING TUNGSTEN TARGET FOR SPUTTERING スパッタリング用タングステンターゲットの製造方法 - 特許庁
Ir SPUTTERING TARGET MATERIAL FOR FORMING THIN FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING Ir SPUTTERING TARGET 薄膜形成用Irスパッタリングターゲット材およびIrスパッタリングターゲットの製造方法 - 特許庁
HIGH PURITY SR(X)BI(Y)TA(2)O(5+X+3Y/2) SPUTTERING TARGET MATERIAL 高純度SrxBiyTa2O5+x+3y/2スパッタリングターゲット材 - 特許庁
REACTIVE SPUTTERING METHOD AND OPTICAL MEMBER 反応性スパッタリング方法及び光学部材 - 特許庁
SPUTTERING DEVICE AND FORMATION OF THIN FILM スパッタリング装置および薄膜形成方法 - 特許庁
COOLED BACKING PLATE FOR SPUTTERING TARGET, AND SPUTTERING TARGET COMPRISING A PLURALITY OF BACKING PLATES スパッタターゲットのための冷却されたバックプレートおよび複数のバックプレートから成るスパッタターゲット - 特許庁
SPUTTERING SYSTEM AND OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM スパッタ装置及び光情報記録媒体 - 特許庁
This RF sputtering device is a device for applying RF sputtering to a wafer 21. 本発明に係るRFスパッタ装置は、ウエハ21にRFスパッタ処理を行う装置である。 - 特許庁
To provide a sputtering target capable of suppressing the occurrence of abnormal discharge even if an IGZO sputtering target is used in DC sputtering. IGZOスパッタリングターゲットをDCスパッタリングで使用しても、異常放電の発生を抑制できるスパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁
SPUTTERING FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD スパッタリング成膜装置及び成膜方法 - 特許庁
FORMING METHOD OF FORMED BODY FOR SPUTTERING TARGET スパッタリングターゲット用成型体の成型方法 - 特許庁
Respective layers are formed by a sputtering method. 各めっき層ともスパッタリング法で形成する。 - 特許庁
FACING TARGET TYPE SPUTTERING APPARATUS FOR THIN FILM COMPOSITE MEMBRANE 複層膜用対向ターゲット式スパッタ装置 - 特許庁
Nb SPUTTERING TARGET, AND PRODUCTION METHOD THEREFOR Nbスパッタリングターゲット及びその製造方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET FOR FORMING OPTICAL DISK PROTECTIVE FILM 光ディスク保護膜形成用スパッタリングターゲット - 特許庁
SPUTTERING TARGET FOR FORMING OPTICAL DISK RECORDING FILM 光ディスク記録膜形成用スパッタリングターゲット - 特許庁
BACKING PLATE, TARGET DEVICE, AND SPUTTERING APPARATUS バッキングプレート、ターゲット装置及びスパッタリング装置 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD OF OPTICAL DISK AND SPUTTERING DEVICE 光ディスクの製造方法及びスパッタ装置 - 特許庁
OPTICAL DISK-SUPPLYING DEVICE TO SPUTTERING DEVICE スパッターリング装置への光ディスク供給装置 - 特許庁
SPUTTERING SOURCE, FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD スパッタ源、成膜装置及び成膜方法 - 特許庁
MAGNETIC CONTROL SPUTTERING TARGET STRUCTURE AND EQUIPMENT 磁気制御スパッタリング・ターゲット構造及び設備 - 特許庁
EXTERNAL CATHODE ELECTRODE MOUNTED TYPE SPUTTERING SYSTEM エクスターナル・カソード電極搭載型スパッタ装置 - 特許庁
OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM AND SPUTTERING TARGET 光情報記録媒体及びスパッタリングターゲット - 特許庁
SPUTTERING TARGET AND OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM スパッタリングターゲット及び光情報記録媒体 - 特許庁
SPUTTERING TARGET OF ZnO AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR ZnOスパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
ITO SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET MATERIAL ITO焼結体及びスパッタリングターゲット材 - 特許庁
SPUTTERING FILM DEPOSITION METHOD AND PLASMA PROCESSING APPARATUS スパッタ成膜方法及びプラズマ処理装置 - 特許庁
The sputtering apparatus includes the target structure. 当該ターゲット構造を有するスパッタリング装置。 - 特許庁
ROTATING MAGNET, AND INLINE TYPE SPUTTERING SYSTEM 回転磁石およびインライン型スパッタリング装置 - 特許庁
THIN FILM MANUFACTURING METHOD AND SPUTTERING APPARATUS 薄膜の製造方法およびスパッタリング装置 - 特許庁