POWER SOURCE, POWER SOURCE FOR SPUTTERING, AND SPUTTERING APPARATUS 電源、スパッタ用電源及びスパッタ装置 - 特許庁
SPUTTERING METHOD AND APPARATUS スパッタ方法と装置 - 特許庁
TARGET FOR SPUTTERING SOURCE スパッター源用ターゲット - 特許庁
SPUTTERING FILM DEPOSITION METHOD スパッタ成膜方法 - 特許庁
MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM マグネトロンスパッタリング装置 - 特許庁
MAGNETRON SPUTTERING METHOD AND MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS マグネトロンスパッタ方法及びマグネトロンスパッタ装置 - 特許庁
RF SPUTTERING APPARATUS RFスパッタリング装置 - 特許庁
MAGNETRON SPUTTERING DEVICE AND SPUTTERING METHOD マグネトロンスパッタリング装置及びスパッタリング方法 - 特許庁
The first sputtering is anisotropic sputtering, and the second sputtering is isotropic sputtering. 第1のスパッタリングは異方性スパッタリングであり、第2のスパッタリングは等方性スパッタリングである。 - 特許庁
COPPER SPUTTERING TARGET MATERIAL AND SPUTTERING METHOD 銅スパッタリングターゲット材及びスパッタリング方法 - 特許庁
SPUTTERING CATHODE AND SPUTTERING FILM FORMING APPARATUS スパッタリングカソード及びスパッタリング成膜装置 - 特許庁
POWER SOURCE, POWER SOURCE FOR SPUTTERING, AND SPUTTERING DEVICE 電源、スパッタ用電源及びスパッタ装置 - 特許庁
SPUTTERING METHOD AND SYSTEM スパッタ方法と装置 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, SPUTTERING CHAMBER INCLUDING THE SAME AND SPUTTERING METHOD スパッタリング用ターゲットとこれを含むスパッタチャンバー及びスパッタリング方法 - 特許庁
SPUTTERING APPARATUS AND SPUTTERING FILM DEPOSITION METHOD スパッタ装置およびスパッタによる成膜方法 - 特許庁
REFLOW SPUTTERING METHOD AND REFLOW SPUTTERING SYSTEM リフロースパッタリング方法及びリフロースパッタリング装置 - 特許庁
SPUTTERING SYSTEM AND SPUTTERING METHOD FOR CURVED SURFACE SUBSTRATE 曲面基板のスパッタ装置及びスパッタ法 - 特許庁
The first sputtering is long slow sputtering. また、第1のスパッタリングはロングスロースパッタである。 - 特許庁
TARGET MODULE OF SPUTTERING APPARATUS AND SPUTTERING APPARATUS スパッタ装置のターゲットモジュール、およびスパッタ装置 - 特許庁
SHUTTER FOR SPUTTERING SYSTEM AND SPUTTERING SYSTEM スパッタリング装置用シャッタおよびスパッタリング装置 - 特許庁
CONTINUOUS SPUTTERING APPARATUS AND CONTINUOUS SPUTTERING METHOD 連続スパッタ装置および連続スパッタ方法 - 特許庁
SPUTTERING SYSTEM AND PRE-SPUTTERING METHOD スパッタリング装置およびプリスパッタリング処理方法 - 特許庁
MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM AND MAGNETRON SPUTTERING METHOD マグネトロンスパッタ装置およびマグネトロンスパッタ方法 - 特許庁
TARGET DEVICE FOR SPUTTERING, AND SPUTTERING APPARATUS スパッタリング用ターゲット装置及びスパッタリング装置 - 特許庁
PRE-CONDITIONING OF SPUTTERING TARGET PRIOR TO SPUTTERING スパッタリング前のスパッタリングターゲットの前調整 - 特許庁
REACTIVE SPUTTERING METHOD 反応性スパッタリング法 - 特許庁
TARGET APPARATUS FOR SPUTTERING スパッタ用ターゲット装置 - 特許庁