SPLIT TARGET DEVICE FOR SPUTTERING AND SPUTTERING METHOD USING THE SAME スパッタリング用分割ターゲット装置、及びそれを利用したスパッタリング方法 - 特許庁
To provide a magnetron sputtering system, and to provide a magnetron sputtering method. マグネトロンスパッタリング装置及びそのマグネトロンスパッタリング方法を提供する。 - 特許庁
MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM, AND METHOD OF THIN FILM DEPOSITION BY MAGNETRON SPUTTERING マグネトロンスパッタリング装置およびマグネトロンスパッタリングによる薄膜形成方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET FOR FORMING PROTECTIVE FILM OF OPTICAL RECORDING MEDIUM FREE FROM SPUTTERING CRACK スパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット - 特許庁
SPUTTERING TARGET FOR FORMING OPTICAL RECORDING PROTECTIVE FILM CAPABLE OF DIRECT CURRENT SPUTTERING 直流スパッタリング可能な光記録保護膜形成用スパッタリングターゲット - 特許庁
To provide a sputtering target suppressing the generation of nodules during sputtering. スパッタ時のノジュールの発生を抑制できるスパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁
SPUTTERING TARGET AND RECORDING MATERIAL OF HARD DISK FORMED FROM THE SPUTTERING TARGET スパッタターゲットおよびスパッタターゲットから形成されるハードディスクの記録材 - 特許庁
RUTHENIUM TARGET FOR SPUTTERING, AND METHOD OF PRODUCING RUTHENIUM TARGET FOR SPUTTERING スパッタリング用ルテニウムターゲット及びスパッタリング用ルテニウムターゲットの製造方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, JOINT TYPE SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME スパッタリングターゲット、並びに接合型スパッタリングターゲット及びその作製方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET FOR DEPOSITING OPTICAL RECORDING PROTECTIVE FILM CAPABLE OF DIRECT CURRENT SPUTTERING 直流スパッタリング可能な光記録保護膜形成用スパッタリングターゲット - 特許庁
SPUTTERING TARGET FOR DEPOSIT OPTICAL RECORDING MEDIUM PROTECTIVE FILM FREE FROM SPUTTERING CRACK スパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット - 特許庁
SPLIT TARGET DEVICE FOR SPUTTERING AND SPUTTERING METHOD USING THE SAME スパッタリング用分割ターゲット装置及びそれを利用したスパッタリング方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET FOR FORMATION OF OPTICAL LOGGING PROTECTION FILM CAPABLE OF DC SPUTTERING 直流スパッタリング可能な光記録保護膜形成用スパッタリングターゲット - 特許庁
SPUTTERING TARGET FOR FORMING OPTICAL RECORDING MEDIUM PROTECTIVE FILM FREE FROM SPUTTERING CRACK スパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット - 特許庁
ION-BEAM SPUTTERING APPARATUS AND ION-BEAM SPUTTERING METHOD USING THE SAME イオンビームスパッタリング装置および該装置を用いたイオンビームスパッタリング方法 - 特許庁
MAGNETRON SPUTTERING CATHODE, MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING MAGNETIC DEVICE マグネトロンスパッタカソード、マグネトロンスパッタ装置及び磁性デバイスの製造方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET, AND PRODUCTION METHOD THEREFOR スパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
MAGNETIC FIELD GENERATOR FOR SPUTTERING APPARATUS スパッタリング装置の磁界発生装置 - 特許庁
SPUTTERING SYSTEM AND FILM DEPOSITION METHOD スパッタリング装置及び成膜方法 - 特許庁
SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR スパッタリングターゲットとその製造方法 - 特許庁
SPUTTERING DEVICE AND PLASMA PROCESSING APPARATUS スパッタ装置およびプラズマ処理装置 - 特許庁
METHOD AND APPARATUS FOR SPUTTERING スパッタリングのための方法及び装置 - 特許庁