penning typeとは 意味・読み方・使い方

PENNING TYPE SPUTTERING SYSTEM例文帳に追加

ペニング型スパッタリング装置 - 特許庁

To use a compact and inexpensive Penning type inert element ion beam device as one for removing a remnant layer, a crushed layer formed on the surface of a sample by irradiation of focused ion beam device.例文帳に追加

集束イオンビーム照射により試料表面に形成される残存層、破砕層を除去するために用いる不活性元素イオンビーム装置として、小型で安価なペニング型不活性元素イオンビーム装置を用いる。 - 特許庁

A Penning type inert element ion beam device fitted to the focused ion beam device is let to be provided with two motion states of an operation state of coming near a sample and irradiating an inert element beam on it and of a sheltering state of getting away from the sample and not irradiating the inert element ion beam on it.例文帳に追加

集束イオンビーム装置に取り付けられたペニング型不活性元素イオンビーム装置に、試料に近付いて不活性元素ビームを試料表面に照射する操作状態と、試料から離れて不活性元素イオンビームを試料に照射しない待避状態の二つの動作状態を持たせる。 - 特許庁