かつえきまくの英語

ゲート絶縁膜６は、酸化シリコン膜より誘電率が大きく、かつＦＮ電気伝導特性を示すＦＮトンネル膜１０を含む。例文帳に追加

The gate insulating film 6 comprises an FN(Fowler Nordheim) tunnel film 10 which is larger in permittivity than a silicon oxide film and has FN electric conduction characteristics. - 特許庁

第２層の固体潤滑膜は、イオンプレーティング法、スパッタリング法か、ショットピーニング法によって形成された、ＭｏＳ_2膜、ＷＳ_2膜、ＮｂＳ_2膜、雲母膜、Ｓｂ_2Ｏ_3膜、ＢＮ膜、ＷＳｅ膜、ＭｏＳｅ_2膜、Ａｕ膜、または、Ａｇ膜である。例文帳に追加

The solid lubricating film as the 2nd layer is an MoS2 film, a WS2 film, an NbS2 film, a mica film, an Sb203 film, a BN film, a WSe film, an MoSe2 film, an Au film or an Ag film formed by an ion plating method, sputtering method or a shot peening method. - 特許庁

積層異種絶縁膜の一括エッチング方法例文帳に追加

COLLECTIVE ETCHING OF MULTILAYER DIFFERENT KIND INSULATING FILM - 特許庁

成膜速度を増大し、大面積のフィルムに成膜することができ、かつ、緻密な成膜を得ることができる成膜装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a film deposition system which increases a film deposition rate, can perform film deposition to a film with a large area, and also, can obtain a dense deposited film. - 特許庁

透明導電膜および金属膜を含む積層膜に対して、各膜をそれぞれ選択エッチングすることなく、１液で透明導電膜および金属膜を含む積層膜を一括エッチングすることが可能であり、かつ各膜のサイドエッチングを抑制することが可能な安価なエッチング液を提供する。例文帳に追加

To provide an inexpensive etchant for collectively etching a multilayer film including a transparent electroconductive film and a metallic film by one operation with one liquid, without selectively etching each film, and for inhibiting side etching of each film. - 特許庁

ウエブに高速且つ均一な塗布膜厚に塗布できる。例文帳に追加

To coat a web with uniform coating film thickness at high speed. - 特許庁

誘電率が低くかつ機械的強度の強い絶縁膜を提供する。例文帳に追加

To provide an insulation film of a low dielectric constant and high mechanical strength. - 特許庁

耐熱性に優れ、かつ、表面の気孔数が少ない絶縁被膜を得る。例文帳に追加

To obtain an insulation coating film which is excellent in heat resistance and has a small number of surface pores. - 特許庁