イオンゲージの英語

本発明は、イオンゲージ収集器に到達する汚染物質を削減する方法および装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method and a device for reducing contaminants which reach an ion gauge collector. - 特許庁

スパッタ処理装置の処理容器内に、イオンゲージから二次電子を導入し、前記処理容器内におけるプラズマの着火を促進する。例文帳に追加

This film-forming method includes introducing secondary electrons from an ion gauge into a treatment vessel of a sputter treatment apparatus to promote the ignition of plasma in the treatment vessel. - 特許庁

そのために、水素ガスが真空チャンバ５６側へ漏れ出して、Ｂ−Ａゲージやイオンゲージ等の真空計５７に触れて爆発することを防止できる。例文帳に追加

This constitution thereby can prevent hydrogen gas from leaking out to the side of a vacuum chamber 56, and also prevent it from being brought into contact with a vacuum meter 57 such as a B-A guage, an ion guage and the like so as to be exploded. - 特許庁

又、通電加熱中のアークチャンバ１２ａ内の圧力の情報を、イオン源の後工程に配置される、アークチャンバ１２ａと連通するチャンバに設けられるイオンゲージを用いて計測することにより、通電加熱、デガス状態を監視する。例文帳に追加

Furthermore, a pressure information in the arc-chamber 12a during a conduction heating is measured by an ion gage provided in a chamber which is arranged in a subsequent process of the ion source and connected with the arc-chamber 12a, and a conduction heating and degassing status is monitored. - 特許庁

成膜装置１のプロセスコントローラ１１は、イオンゲージ１０に搬送ガスのみを通流させた場合の（Ｉｉ／Ｉｅ）_0 と、有機材料及び搬送ガスを通流させた場合の（Ｉｉ／Ｉｅ）との差と、成膜速度Ｄ／Ｒとの関係を示す成膜速度検量線を作成する。例文帳に追加

A process controller 11 in a film forming apparatus 1 produces a calibration curve of a film formation rate which shows relation between: the difference between (Ii/Ie)_0 when only delivery gas is conducted to an ion gauge 10 and (Ii/Ie) when organic material and delivery gas are conducted to the same; and a film formation rate D/R. - 特許庁