オキシ窒化けい素の英語

本発明は、窒素イオンを注入して隔離酸化膜内の所定領域にオキシナイトライド膜を形成する。例文帳に追加

An oxynitride film is formed in the prescribed region of an isolation oxide film by implanting nitrogen ions. - 特許庁

オキシ窒化ケイ素層の反射防止能力の低下を防止することができるフォトレジスト層の再処理方法を提供すること。例文帳に追加

To provide the method of reprocessing photoresist layers for preventing reflection prevention capability from being reduced in an oxysilicon nitride layer. - 特許庁

酸素プラズマで洗浄すると、低誘電率有機材料層の上にオキシ窒化物の薄膜が形成される。例文帳に追加

When the laminate is cleaned with the oxygen plasma, an oxynitride thin film 110 is formed on the organic material layer. - 特許庁

シリコン基板２００をアンモニアガスの存在下で短時間加熱することによって基板上に窒化物層を形成する工程と、窒化物層を酸化窒素ガスの存在下で短時間加熱することによって窒化物層を再酸化させ、オキシ窒化物層２０４を形成する工程とを含む。例文帳に追加

This method comprises steps of forming a nitride layer on a substrate by heating a silicon substrate 200 for a short time in the presence of an ammonia gas and reoxidizing the nitride layer to form an oxynitride layer 204 by heating the nitride layer for a short time in the presence of an nitrogen oxide gas. - 特許庁

溶剤はアルコール系溶剤、エーテル系溶剤、エステル系溶剤、グリコール系溶剤、ケトン系溶剤、炭化水素系溶剤及び窒素系溶剤が好ましく、界面活性剤は非イオン系界面活性剤であるポリオキシエチレンアルキルエーテル及びポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステルが好ましい。例文帳に追加

The surfactant is preferably a polyoxyethylene alkyl ether or a polyoxyethylene sorbitan acid ester being a nonionic surfactant. - 特許庁

上記の特性を有する窒化鉄系磁性粉末は、オキシ水酸化鉄（原料粉）を合成する工程で、オキシ水酸化鉄の成長過程に酸化剤として過酸化水素水を用い、かつ希土類元素を十分に添加する製法によって製造される。例文帳に追加

The iron-nitride magnetic powder having an above characteristic is manufactured, by using a solution of hydrogen peroxide as oxidant for oxy-iron hydroxide growth process and fully adding the rare earth elements in a process for synthesizing oxy-iron hydroxide (material powder). - 特許庁

窒素を含むプラズマを使用して、低誘電率有機材料層の上のフォトレジスト層の実質的に大部分を除去し、その後に低誘電率有機材料層の露出表面上にオキシ窒化ケイ素層を形成する。例文帳に追加

A substantially large part of a photoresist layer on a low dielectric constant organic material layer 102 is removed by a plasma108 containing nitrogen atoms, and thereafter an oxynitride silicon layer is formed on an exposed surface of the organic material layer. - 特許庁

β型窒化珪素結晶を含む窒化珪素を焼結助剤と混合して焼成する窒化珪素系焼結体の製造方法において、前記焼結助剤は、希土類酸化物と、酸化マグネシウムと、二酸化珪素とを溶融させると共に、窒素が過飽和状態となるように窒化物を溶融させたオキシナイトライドガラスとしていることとした。例文帳に追加

In the method for producing a silicon nitride based sintered compact where silicon nitride including β type silicon nitride crystals is mixed with a sintering assistant, and the mixture is fired, as the sintering assistant, oxynitride glass obtained by melting rare earth oxide, magnesium oxide and silicon dioxide and further melting nitride in such a manner that nitrogen is made into a supersaturated state is used. - 特許庁