クスボルの英語

セラミックスボルトの製造方法及びセラミックスボルト例文帳に追加

CERAMIC BOLT MANUFACTURING METHOD AND CERAMIC BOLT - 特許庁

ウエハ１を積載するセラミックス板１５にヒータ機能と静電チャック機能を埋め込み、このセラミックス板１５を挟んで、セラミックスボルト３６で冷却用の冷却ジャケット１４に固定する。例文帳に追加

In the wafer treating device, a heater function and an electrostatic chucking function are embedded in a ceramic board 15 which carries a wafer 1 and fixed to a cooling jacket 14 with ceramic bolts 36 through the ceramic board 15. - 特許庁

管理の容易でないトルクスボルトによる取付けをやめ、これに代って普通に使用されているビス型のボルトを複数個使用して取付けるようにし、これによってコンタクトプレートの板厚をも薄くできるようにし、さらに強度付与のための周辺のフランジ加工をも不要にする。例文帳に追加

To reduce the thickness of a contact plate and to eliminate the need to machine a peripheral flange for imparting strength by mounting an airbag device using a plurality of screw type bolts normally employed, instead of using torque bolts that are not easy to manage. - 特許庁

ウエハ１を積載するセラミックス板１５にヒータ機能と静電チャック機能を埋め込み、このセラミックス板１５を熱絶縁部材を挟みこんだ状態で、熱伝導率の小さなセラミックスボルト３６で冷却用の冷却ジャケット１４に固定する。例文帳に追加

After a heater function and an electrostatic chucking function are embedded in a ceramic board 15 on which a wafer 1 is put, the ceramic board 15 is fixed to a cooling jacket 14 with ceramic bolts having small coefficient of thermal conductivity in a state where a heat insulating member is put between the board 15 and jacket 14. - 特許庁

セラミックス螺子体であるセラミックスボルト１は主成分であるジルコニアと副成分であるイットリアとを含む粉末状の原料を、軸棒部１０の少なくとも一端側に雄ねじ部１１が備えられた形状となるように、加圧成形後に加熱焼成して形成される。例文帳に追加

A ceramic bolt 1 being the ceramic screw body is formed by heating and baking a powder-like raw material containing zirconia being a main component and yttria being a by-component after molding by pressurization to realize such a shape that a male screw part 11 is provided on at least one end side of a stem part 10. - 特許庁