中心視野計測の英語

これにより、金属薄膜１１がフィルタとなって、視野内の感度分布が平坦化され、すなわち視野の中心付近の感度が低下して周辺部のレベルに合わせられ、視野内の熱源の位置によらず、常に同等の計測値が得られるようになる。例文帳に追加

Therefore, the thin metal film 11 serves as a filter, uniformizes a sensitivity distribution within the field of view, i.e., lowering sensitivity near the center of the field of view sufficiently so that it is adjusted to the level at the periphery, with the result that similar measurements can always be made irrespective of the position of a heat source within the field of view. - 特許庁

そして、前記放射温度計３２を斜め上方に傾けて前記放射温度計３２の温度計測視野Ｅが前記温度計測用ノズル３１の先端開口部の中心Ｏよりも上方に位置するようにする。例文帳に追加

The radiation thermometer 32 is inclined diagonally upwards to position a temperature measuring view field E of the radiation thermometer 32, in an upper side of the center O of a tip opening part in the temperature measuring nozzle 31. - 特許庁

次に、各マークが視野中心となるようにレチクル及びウエハステージの位置を駆動し、この状態で本計測としてのレチクルマーク及びウエハフィデュシャルマークのずれ量を計測する。例文帳に追加

Next, driving positions of the reticle and the wafer stage so as to make each mark to be the center of field of view, the biases of reticle mark and wafer fiducial mark are measured in this condition as a full measurement. - 特許庁

マークを、必ずアライメントセンサの視野中心において観察していることとなり、アライメントセンサの光学系のディストーション、あるいは、撮像素子の固定パターンノイズ等については、毎回同じ成分が重畳されることとなるので、これらに起因する計測再現性の悪化を防ぐことができ、安定したレチクルアライメントを行なうことができる。例文帳に追加

Since the marks are placed at the center of field of view of the alignment sensor to observe and since the same component of both the distortion of optical system of the alignment sensor or the fixed pattern noise and the like of the imaging device are superimposed at each time, degradation of reproducibility of measurement caused by them can be prevented to implement the stable reticle alignment. - 特許庁