二酸化けい素超薄膜の英語

密閉容器中でめっき液と二酸化炭素液体の混合液中、二酸化炭素の超臨界状態で電解めっきを行い、基材上に多孔性金属薄膜を形成する。例文帳に追加

The porous metallic thin film is formed on a substrate by electrolytically plating the substrate in a liquid mixture of a plating solution and a carbon dioxide liquid in an airtight container, of which the carbon dioxide is controlled into a supercritical state. - 特許庁

超臨界流体セル６の流体層５内に二酸化炭素及び炭化水素を封入し超臨界状態を形成する工程と、流体層５内に紫外波長のレーザー光を照射する工程と、を含むアモルファスカーボン薄膜作製方法。例文帳に追加

The method for producing an amorphous carbon thin film includes a step of enclosing carbon dioxide and a hydrocarbon in a fluid layer 5 in a supercritical fluid cell 6 to form a supercritical state, and a step of irradiating the interior of the fluid layer 5 with laser light of an ultraviolet wavelength. - 特許庁

本発明に係る成膜装置は、形成目的とする金属酸化物構成元素からなる縮重合体とアルコールと超臨界状態の流体又は液体の二酸化炭素とを混合した原料流体を供給して薄膜形成する装置である。例文帳に追加

The raw material fluid in which a condensation polymer consisting of a composition element of metal oxide intended for formation, alcohol, and fluid or liquid carbon dioxide in the supercritical state are mixed is fed to the apparatus for forming the thin film. - 特許庁