同軸スロットアンテナの英語

ラジアルラインスロットアンテナ２０と同軸導波管２１との接続部において、同軸導波管中の給電線２１Ｂの先端部を、放射面を構成するスロット板１６から離間させる。例文帳に追加

In the junction between a radial slotted antenna 20 and a coaxial waveguide 21, the top end of a feed wire 21B in the coaxial waveguide is spaced from a slotted plate 16 forming a radiation surface. - 特許庁

マイクロ波供給装置３６から同軸導波管３５に対してマイクロ波が供給され，アンテナ部材３１のスロットアンテナ３２からリークした電磁界が誘電体窓２２を透過して処理容器２内にプラズマを発生させる。例文帳に追加

Microwaves are fed from a microwave feeder 36 to a coaxial waveguide 35, and an electromagnetic field leaked from the slot antenna 32 of an antenna member 31 transmits through the dielectric window 22, and generates plasma in a treatment container 2. - 特許庁

このアンテナエレメントＡの第１給電ポイントＰ１に同軸ケーブルＣの芯線Ｃａを接続し、トランクリッド１の第２給電ポイントＰ２に同軸ケーブルＣの網線Ｃｂを接続することにより、トランクリッド１と開口縁２Ｓとの隙間をスロットＳとするスロットアンテナ型のアンテナ装置を構成する。例文帳に追加

A core wire Ca of a coaxial cable C is connected to a first feed point P1 of the antenna element A, by having a mesh wire Cb of the coaxial cable C connected to a second feed point P2 of the trunk lid 1 for constituting a slot-antenna type antenna device having a gap between the trunk lid 1 and opening edge 2S as a slot S. - 特許庁

マイクロ波発生器６０より出力されたマイクロ波は、導波管６２、導波管−同軸管変換器６４および同軸管６６を有するマイクロ波伝送線路５８を伝播して、遅延板５６を通ってラジアルラインスロットアンテナ５４に給電され、アンテナ５４の各スロットからチャンバ１０内に向けて放射され、マイクロ波のパワーで処理ガスのプラズマが生成される。例文帳に追加

Microwaves outputted from a microwave generator 60 propagate through a microwave transmission line 58 having a waveguide 62, a waveguide-coaxial pipe converter 64 and a coaxial pipe 66, fed to a radial slot antenna 54 through a delay plate 56 and radiated, from each of slots of an antenna 54 toward the chamber 10; and plasma treatment gas is generated, based on the power of the microwave. - 特許庁

誘電体板２と、この誘電体板の表面側に配設した導電体製のスロット板と、前記誘電体板の裏面側に前記スロット板の外周に電気的に接続するように配設した導電体製のアンテナガイド板１と、前記スロット板及び前記アンテナガイド板における中心部分に接続したアマクロ波の同軸導波管８とから成るラジアルラインスロットアンテナにおいて、前記スロット板の歪み変形に起因する処理むらの発生を低減する。例文帳に追加

To reduce generation of nonuniform processing caused by strain deformation of a slot antenna. - 特許庁