多重光路セルの英語

本発明のガス濃度検出装置は、特定波長の光を特定ガスが存在するガスセル部３に入光し、ガスセル部３内に設置の平面鏡５ａ、５ｂで多重反射させることによって、その光の光路長さを長くして薄いガス濃度を測定する。例文帳に追加

In this optical gas concentration detector, a specified wavelength of light is made to be incident into a gas cell part 3 with specified gas existing therein and is reflected multiply by plane mirrors 5a, 5b provided inside the gas cell 3, and an optical path length for the light is prolonged thereby to measure the dilute gas concentration. - 特許庁

半導体製造プロセス用吸光分析装置は、半導体製造プロセスの処理チャンバ３９の排気流路に接続された流路切換え機構５０と、レーザ光源からのレーザ光をセル内で多重反射させてガスによる吸光度変化を検出してプロセスガス中の水分濃度を測定する多重反射型水分濃度計測用吸光分析計５１とを備えている。例文帳に追加

This absorption spectrometric apparatus for the semiconductor manufacturing process includes: a channel switching mechanism 50 connected to an exhaust channel of a processing chamber 39 in the semiconductor manufacturing process; and an absorption spectrometric apparatus 51 for multiple reflection type moisture concentration measurement for detecting an absorbance change caused by gas by multiple reflection in the cell of laser light from a laser light source, and measuring the moisture concentration in process gas. - 特許庁

必要とされる十分な大きさの光路長を得ることができるものでありながら、小型のものとして構成することができ、しかも個体差およびロット差を生じさせることなく、容易に作製することのできる多重反射型セルおよび上記多重反射型セルを備え、所期のガス検知を確実に行うことのできる小型の赤外線式ガス検知器を提供すること。例文帳に追加

To provide a multiple reflection type cell which is reduced in size while securing a long optical path length enough to be required, and manufactured easily without generating an individual difference and a lot difference, and also to provide an infrared type gas detector which is provided with the multiple reflection type cell, and detects expected gas surely. - 特許庁

4000cm^-1〜3500cm^-1、3100cm^-1〜2600cm^-1または2400cm^-1〜1900cm^-1の範囲にある１種以上の測定波数を用い、アンモニアガスの一定流量を長光路ガスセルに導入し、多重反射させることにより水分の赤外吸収強度を測定する。例文帳に追加

Ammonia gas is introduced into a long optical path gas cell at a constant flow rate, using at least one measuring wave number in a range of 4,000-3,500 cm-1, 3,100-2,600 cm-1 or 2,400-1,900 cm-1 and subjected to multiple reflection to measure the intensity of infrared absorption of moisture. - 特許庁