多重光路セルの英語

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英訳・英語 multiple pass cell

JST科学技術用語日英対訳辞書での「多重光路セル」の英訳

多重光路セル

multiple pass cell

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「多重光路セル」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 2件

例文

半導体製造プロセス用吸光分析装置は、半導体製造プロセスの処理チャンバ３９の排気流路に接続された流路切換え機構５０と、レーザ光源からのレーザ光をセル内で多重反射させてガスによる吸光度変化を検出してプロセスガス中の水分濃度を測定する多重反射型水分濃度計測用吸光分析計５１とを備えている。例文帳に追加

This absorption spectrometric apparatus for the semiconductor manufacturing process includes: a channel switching mechanism 50 connected to an exhaust channel of a processing chamber 39 in the semiconductor manufacturing process; and an absorption spectrometric apparatus 51 for multiple reflection type moisture concentration measurement for detecting an absorbance change caused by gas by multiple reflection in the cell of laser light from a laser light source, and measuring the moisture concentration in process gas. - 特許庁

例文

必要とされる十分な大きさの光路長を得ることができるものでありながら、小型のものとして構成することができ、しかも個体差およびロット差を生じさせることなく、容易に作製することのできる多重反射型セルおよび上記多重反射型セルを備え、所期のガス検知を確実に行うことのできる小型の赤外線式ガス検知器を提供すること。例文帳に追加

To provide a multiple reflection type cell which is reduced in size while securing a long optical path length enough to be required, and manufactured easily without generating an individual difference and a lot difference, and also to provide an infrared type gas detector which is provided with the multiple reflection type cell, and detects expected gas surely. - 特許庁