多重極プラズマの英語

陰極に接地コンデンサを有する多重周波数プラズマチャンバ例文帳に追加

MULTIPLE FREQUENCY PLASMA CHAMBER WITH GROUNDING CAPACITOR AT CATHODE - 特許庁

炉の内部にスパッタリングのための気体を注入して試片表面の残留ガス及び不純物を除去し、炉の内部に窒素と水素を注入するとともに多重中空陰極体に低電流の電力を印加して高密度のプラズマを生成し、プラズマ内の窒素プラズマの状態を変えて窒化物層をナノサイズに形成する。例文帳に追加

Gas for sputtering is introduced into a furnace to remove any residual gas and impurities on a surface of a test piece, nitrogen and hydrogen is introduced into the furnace, the power of the low current is applied to a multiple hollow cathode to generate plasma of high density, and the state of nitrogen plasma in the plasma is changed to form a nitride layer to the nano-size. - 特許庁

例えば電極Ｅは、３個以上用いられ多重に配設されると共に、同極のものが中心側から外側に交互に配され、もってプラズマ発生領域Ｂが、同心円の複数層状に形成される。例文帳に追加

For example, three or more electrodes E are disposed in a plurality of layers, those having the same polarity are arranged alternately outward from the center to form the plasma-generating region B in two or more concentric layers. - 特許庁

これにより、多重中空陰極体を通過するイオンの運動量及び反応を最大にして高密度のプラズマを生成することができ、試片の表面に、粗度の変化がほとんどない高硬度の窒化層を形成することができる。例文帳に追加

The momentum and the reaction of ions passing through the multiple hollow cathode are maximized to generate plasma of high density, and a nitride layer of high hardness with less change of roughness can be deposited on the surface of the test piece. - 特許庁

単相交流変圧器６台を基本構成とする３相—１２相交流変換電源と、これによって導かれる１２本の放電電極を立体的に配置することにより、多重放電を実現し、立体的なプラズマ領域の構造を変化させることができる６相多重立体放電装置を実現することにある。例文帳に追加

To provide multiple discharge, and to allow structure of a three- dimensional plasma region to be varied, by arranging three-dimensionally three- phase-twelve-phase alternating current conversion power sources having six single-phase alternating current transformers as the basic constitution, and twelve discharge electrodes introduced by the power sources. - 特許庁