放射パタンの英語

感放射線組成物及びパタン形成方法及び半導体装置の製造方法例文帳に追加

RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION, METHOD FOR FORMING PATTERN AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE - 特許庁

感度、解像度、パタン形状に優れた感放射線組成物およびこれを用いたパタン形成方法を提供する。例文帳に追加

To obtain a radiation sensitive composition excellent in sensitivity, resolution and pattern shape and to provide a pattern forming method using the composition. - 特許庁

偏光パタンアセンブリにおいて、過度に複雑な機械的構造を必要とせずに、放射状または接線状パタンを含む偏光パタンを供給できる装置を提供することである。例文帳に追加

To provide a device that can provide polarization patterns, including radial and tangential patterns, without requiring excessively complicated mechanical structure in a polarization pattern assembly. - 特許庁

偏光パタンアセンブリにおいて、過度に複雑な機械的構造を必要とせずに、放射状または接線状パタンを含む偏光パタンを供給できる装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a device to supply a polarization pattern including a radial or a tangential pattern without requiring an extremely complex mechanical structure in a polarization pattern assembly. - 特許庁

ＡｒＦエキシマレ−ザの波長１９３ｎｍを含む遠紫外線での露光に適していて，現像液の浸透による膨潤や，パタンの線間にレジスト膜が残るといった解像度劣化の原因を取り除いた高解像度のパタン形成が可能なネガ型の感放射線組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a negative radiation-sensitive composition which is suitable for exposure to far-UV rays including 193 nm wavelength of ArF excimer laser light and which can form a pattern with high resolution while avoiding the causes for deterioration in the resolution such as swelling due to permeation of a developer or remaining of a resist film between the lines of the pattern. - 特許庁

微細なリソグラフィ技術を用いたパタン形成方法によって光導波路を作製するに際し、高精細で形状の優れたパタンを得ることを可能とする放射線硬化性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いた光導波路及び光導波路の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a radioactive ray setting resin composite which yields a pattern which is highly fine and excellent in shape when an optical waveguide is manufactured by a pattern forming method using a fine lithograph technology, to provide an optical waveguide using the resin composite and to provide a method of manufacturing the optical waveguide. - 特許庁

このため、ＩＣカードスロット５に装着する無線ＩＣカードのアンテナ放射パタンに応じて、表示部とは独立して、無線ＩＣカードの角度を調節可能であり、最適なアンテナ感度を得ることが可能である。例文帳に追加

Therefore, according to the antenna radiation pattern of the radio IC card fitted into the IC card slot 5, the angle of the radio IC card can be adjusted independently of the display part, and the optimum sensitivity of an antenna can be provided. - 特許庁

遠紫外光領域で透明、かつドライエッチング耐性も高い化学構造を持ち、水性アルカリ現像液で膨潤することなく微細パタンを現像できるネガ型感放射線組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a negative type radiation sensitive composition having such a chemical structure as to ensure transparency in the far ultraviolet light region and high dry etching resistance and capable of forming a minute pattern by development with an aqueous alkali developing solution without causing swelling. - 特許庁