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放射線増感作用の英語
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英訳・英語 radiosensitization action; radiosensitization
「放射線増感作用」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 61件
170nm以下の放射線を露光することにより酸を発生する感放射線性酸発生剤と、それ自身アルカリ可溶性であるか又は放射線照射後の該感放射線性酸発生剤の作用により化学変化を起こしてアルカリ可溶性となるものであって、連結基がエーテル結合である重合単位を有するバインダー樹脂とを含有することを特徴とする化学増幅型レジスト組成物。例文帳に追加
The chemical amplification type resist composition contains a radiation sensitive acid generating agent which generates an acid when exposed with radiation of ≤170 nm and a binder resin which is alkali-soluble or undergoes a chemical change by the action of the radiation sensitive acid generating agent after irradiation with radiation and becomes alkali-soluble and has a polymerization unit in which a linking group is an ether bond. - 特許庁
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、及び、(C)疎水性樹脂を含む感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、疎水性樹脂(C)が、下記一般式(1)で表される単量体に由来する繰り返し単位を含むことを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。例文帳に追加
An actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition includes (A) a compound which generates an acid upon exposure to actinic rays or radiation, (B) a resin of which solution rate in an alkali developer increases by an action of acid, and (C) a hydrophobic resin which contains a repeating unit derived from a monomer represented by the following general formula (1). - 特許庁
本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂と、活性光線又は放射線の照射によって酸を発生する化合物と、下記一般式(1)により表される塩基性化合物とを含んでいる。例文帳に追加
The actinic-ray- or radiation-sensitive resin composition includes a resin that is decomposed by an action of an acid to thereby increase its solubility in an alkali developer, a compound that generates an acid when exposed to actinic rays or radiation, and any of basic compounds represented by general formula (1). - 特許庁
(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、(C)主鎖にエーテル結合及びフッ素原子を有する樹脂、を含有する感活性光線または感放射線性樹脂組成物。例文帳に追加
The composition is an active energy ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition containing (A) a resin the solubility of which with an alkali developer solution is increased by an effect of an acid, (B) a compound generating an acid by irradiation with active rays or radiation, and (C) a resin having an ether bond and a fluorine atom in the main chain. - 特許庁
(A)活性光線または放射線の照射により下記一般式(I)で表される酸を発生する化合物、及び(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。例文帳に追加
An actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition contains (A) a compound represented by the following formula (I) which generates an acid upon irradiation of an actinic ray or a radiation and (B) a resin which decomposes by an action of an acid to increase the solubility of the resin in an alkaline developer. - 特許庁
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する下記一般式(I)で表される化合物、及び(B)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。例文帳に追加
An actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition contains (A) a compound represented by general formula (I) which generates an acid by irradiation of an actinic ray or radiation and (B) a resin which increases solubility in an alkali developer by action of an acid. - 特許庁
特定の構造の基を有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂、及び活性光線又は放射線の照射により酸を発生する特定の化合物、を含有する感放射線性樹脂組成物。例文帳に追加
The radiation-sensitive resin composition contains a resin which has a group in specified structure, is dissolved through the operation of acid, and increases in solubility to an alkali liquid developer and a specific compound which produces acid by irradiation with an active light beam or radiation. - 特許庁
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「放射線増感作用」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 61件
酸の作用により、アルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂、 活性光線又は放射線の照射により分子量100以下のカルボン酸を発生する化合物、界面活性剤、及び溶剤を含有するポジ型感放射線性組成物。例文帳に追加
The positive type radiation sensitive composition contains a resin having its solubility in an alkali developing solution increased by the action of an acid, a compound which generates the carboxylic acid having a molecular weight of ≤100 when irradiated with active light or radiation, a surfactant and a solvent. - 特許庁
酸の作用によりアルカリ性水溶液への溶解度が増大する樹脂成分と放射線の照射により酸を発生する酸発生成分との組合せを含む放射線感応性ポジ型レジストに対し、リンのオキソ酸又はその誘導体を添加して、ポジ型レジスト組成物とする。例文帳に追加
An oxo acid of phosphorus or its deriv. is added to a radiation sensitive positive type resist contg. a combination of a resin component whose solubility to an alkaline aq. soln. is increased by the action of an acid and an acid generating component which generates the acid when irradiated to obtain the objective positive type resist compsn. - 特許庁
酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、電離放射線の照射により酸を発生する化合物、溶剤ならびに酸及び/又は電離放射線の照射により、レジスト膜のアルカリ現像液に対する溶解速度を減少させる化合物を含有する感放射線性ポジ型レジスト組成物。例文帳に追加
The radiation sensitive positive type resist composition contains a resin having a rate of dissolution in an alkali developing solution increased by the action of an acid, a compound which generates the acid when irradiated with ionizing radiation, a solvent and a compound which reduces the rate of dissolution of a resist film in the alkali developing solution under the action of the acid and/or irradiation with the ionizing radiation. - 特許庁
酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、溶剤及び活性光線又は放射線の照射により結合が開裂して、塩基性化合物とイオン性化合物を発生する化合物を含有する感放射線性ポジ型レジスト組成物。例文帳に追加
The radiation sensitive positive type resist composition contains a resin having a rate of dissolution in an alkali developing solution increased by the action of an acid, a compound which generates the acid when irradiated with active light or radiation, a solvent and a compound having a bond which is cleaved by irradiation with the active light or radiation to generate a basic compound and an ionic compound. - 特許庁
(A1)活性光線又は放射線の照射により酸を発生するイオン性化合物、(A2)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する非イオン性化合物、(B)特定の繰り返し単位を有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂及び(C)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。例文帳に追加
The positive radiation sensitive composition contains (A1) an ionic compound which generates an acid by irradiation of active rays or radiation, (A2) a nonionic compound which generates an acid by irradiation with active rays or radiation, (B) a resin having a specified repeating unit, the solubility of which to an alkali developer liquid increases by the effect of the acid, and (C) a solvent. - 特許庁
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂および、(C)疎水性樹脂を含有する感活性光線性または感放射線性樹脂組成物であって、(A)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物が、下記一般式(1)で表される酸を発生する化合物であることを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。例文帳に追加
The actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition contains (A) a compound generating an acid by irradiation with actinic rays or radiation, (B) a resin showing an increase in dissolution rate with an alkali developing solution by an action of an acid, and (C) a hydrophobic resin. - 特許庁
活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及びアセチレンアルコール誘導体を含有するポジ型感光性組成物。例文帳に追加
The positive photosensitive composition contains a compound which generates an acid when irradiated with active light or radiation, a resin which is decomposed by the action of the acid to increase its solubility in an alkali developing solution and an acetylene alcohol derivative. - 特許庁
[A]下記式(1)で表される酸発生剤及び[B](b1)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する構造単位を有する重合体を含有する感放射線性樹脂組成物。例文帳に追加
The radiation-sensitive resin composition contains: [A] an acid generator expressed by formula (1); and [B] (b1) a polymer having a structural unit the solubility of which with an alkali developing solution is increased by an action of an acid. - 特許庁
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