膜内分布の英語

単結晶内のボイド及び内壁酸化膜からなるボイド欠陥の密度分布及びサイズ分布を正確に予測する。例文帳に追加

To accurately predict the density distribution and size distribution of a void defect composed of a void in a single crystal and an inner-wall oxide film. - 特許庁

反射面は膜厚調整層３２の厚み分布に従って変形しているだけではなく、膜厚調整層３２の厚み分布に対応する応力分布と、作製時に発生した各膜の内部応力とのバランスによって変形している。例文帳に追加

The reflection plane is not only deformed according to thickness distribution of the layer 32, but deformed by balance of stress distribution corresponding to thickness distribution of the layer 32 and internal stress of each film generated at the time of manufacturing. - 特許庁

基板面内の膜厚分布を均一にすることができるスパッタ成膜方法を提供する。例文帳に追加

To provide a sputtering film deposition method by which a film thickness distribution in a substrate face can be uniformized. - 特許庁

この薄膜中で結晶化が起こる際に、この薄膜内で温度分布が形成される。例文帳に追加

When crystallization occurs in the thin film, temperature distribution is formed in the thin film. - 特許庁

ＩＳＳＧ法で形成される酸化膜の膜厚分布のウエハ面内均一性を改善する。例文帳に追加

To improve uniformity in a wafer surface in the film thickness distribution of an oxide film formed by an ISSG method. - 特許庁

薄膜又はパターンの膜厚や線幅の面内分布の均一性を向上させる。例文帳に追加

To improve uniformity in the wafer plane distribution in regard to the film thickness and line width of a thin film or a pattern. - 特許庁

蛍光体層の膜厚分布に起因する鮮鋭度の面内分布を均一化し、またシンチレータと光検出器の貼り合わせの不具合を防止する。例文帳に追加

To uniformize in-plane distribution of sharpness caused by a film thickness distribution of a phosphor layer, and to prevent lamination deficiency between a scintillator and a photodetector. - 特許庁

基板面内全体における膜厚分布の勾配と方向が一定となるようにするには、反応炉の温度分布を調整することにより行う。例文帳に追加

The constant gradient and direction of the film thickness distribution in the entire substrate surface is realized by adjusting the temperature distribution of a reactor. - 特許庁