電子入射器の英語

また、分光されない電子ビームによる通常の観察像を検出する際には、投影レンズ部７からの電子ビームは電子分光器１１のビーム入射部位１１ｃに入射後、ビーム入射部位１１ｃに設けられた開口部を介してそのまま像検出部１０に照射される。例文帳に追加

When detecting an ordinary observation image by the electron beam without spectral diffraction, the electron beam from the projecting lens part 7 is incident on the beam incident portion 11c of the electron spectrometer 11 and irradiates the image detection part 10 via the opening provided in the beam incident portion 11c. - 特許庁

環状暗視野走査像検出器に対する散乱電子ビームの入射軸調整方法及び走査透過電子顕微鏡例文帳に追加

INCIDENT AXIS ADJUSTING METHOD OF SCATTERED ELECTRON BEAM AGAINST ANNULAR DARK FIELD SCANNING IMAGE DETECTOR, AND SCANNING TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE - 特許庁

さらに、ガス増幅形検出器の電子入射面にエネルギーフィルタ電極を設けることで二次電子のエネルギー選別を可能とする。例文帳に追加

Further, by installing an energy filter electrode at the electron incident face of the gas amplification type detector, energy selection of the secondary electron is made possible. - 特許庁

マルチビーム装置で二次電子を検出器に入射させるためのコンデンサレンズを必要とせず、二次電子を効率よく検出するようにする。例文帳に追加

To efficiently detect secondary electrons without making a condensing lens for making the secondary electrons incident on a detector necessary in a multi-beam device. - 特許庁

電子線の入射する位置が、ステージに保持されたウエハ上を移動するように、第１の偏向器が電子線の進行方向を変える。例文帳に追加

A first reflector changes the advancing direction of the electron beam so that the position where the electron beam is incident can move over the wafer held on the stage. - 特許庁

オペレータの習熟度に依存しないで、速やかにマイクロトロンや入射系機器及び入射ＢＴ系機器を制御できるマイクロトロンの電子ビーム軌道調整装置及び電子ビーム軌道調整方法を提供する。例文帳に追加

To provide an electron beam orbit control unit and an electron beam orbit control method of a microtron, by which the microtron, an incident system instrument and an incident BT system instrument can be quickly controlled without depending on the skill of an operator. - 特許庁

半導体検出器１１に加速して入射した電子は、検出器の有感層に到達し、入射電子のエネルギーに比例した電荷担体を発生させ、信号電流Ｉｓが流れる。例文帳に追加

The electron accelerated and incident to a semiconductor detector 11 reaches a sensitive layer of the detector and generates an electric charge carrier in proportion to energy of the incident electron, and a signal electric current Is flows. - 特許庁

そして、第１の検出器からの検出信号と、第２の検出器からの検出信号とを用いた演算を行うことで、電子線の入射位置誤差を算出し、この算出結果に基づいて電子線の入射位置の補正を行う。例文帳に追加

The incident position error of an electron beam is calculated through computation, by using the detected signal from the first detector and the detected signal from the second detector, and the incident position of the electron beam is corrected, on the basis of the calculated result. - 特許庁