黒鉛サセプタの英語

ＴａＣ被膜４ａによって被覆された黒鉛部材２ａと、ＳｉＣ被膜３ａによって被覆された黒鉛部材２ｂとを組み合わせ、一体化したサセプタを用いる。例文帳に追加

By combining a graphite member 2a coated with a TaC film 4a and a graphite member 2b coated with a SiC film 3a, an integrated susceptor is used. - 特許庁

ウェハを載置する部分の少なくとも一部が、炭化タンタル又は炭化タンタル被覆黒鉛材である、炭化珪素被覆黒鉛材のサセプタである。例文帳に追加

The susceptor comprises a graphite material covered with silicon carbide and at least a portion of a part on which the wafer is placed is composed of tantalum carbide or a graphite material covered with tantalum carbide. - 特許庁

チョクラルスキー法によってシリコン単結晶を育成する際、チャンバに黒鉛及び断熱材からなる熱遮蔽部材を取り付け、かつ黒鉛質サセプタを取り除いた状態でチャンバ内を加熱し、その後に黒鉛質サセプタ及び多結晶シリコン充填石英るつぼをチャンバ内に装填して単結晶引上げ操作を行う。例文帳に追加

When growing silicon single crystal by the Czochralski method, the manufacturing method comprises mounting a heat shielding member that is composed of graphite and a heat insulating material into the chamber, and heating the inside of the chamber in a state where a graphite susceptor is removed, then carrying out a single crystal-pulling operation by charging the graphite susceptor and a quartz crucible filled with polycrystal silicon into the chamber. - 特許庁

反応管１０の底面上には、該底面の開口部を貫通してその底部を露出させた基板保持具としての黒鉛よりなるサセプタ１５が気密に填め込まれている。例文帳に追加

The bottom surface of a reaction pipe 10 is airtightly loaded with a susceptor 15.The susceptor 15 is used as a substrate retention tool that passes through an opening part on the bottom surface for exposing the bottom part, and is made of graphite. - 特許庁

気相成長装置の反応室内に設置されたサセプタは、ウエハ２２を収容する凹部２１ａが形成されかつ表面にＳｉＣ膜が形成された黒鉛からなる板状のものである。例文帳に追加

The susceptor, installed in a reaction chamber of a vapor phase growth system, is a plate-like object formed of graphite which is formed with a recessed part 21a to store a wafer 22 and is formed with a SiC film on the surface. - 特許庁

気相成長装置は、ウエハを収容可能な円形凹部２１ａが形成され、かつ表面にＳｉＣ膜が形成された黒鉛からなる板状のサセプタ２１が反応室内に設置されたものである。例文帳に追加

A vapor phase growth system comprises a susceptor 21, which is a plate-like object formed of graphite which is formed with circular recessed parts 21a to store wafers and is provided with a SiC film on the surface. - 特許庁

石英ガラスからなる坩堝とサセプタを有し、このサセプタは少なくとも部分的にＣＦＣからなり、坩堝を支持しかつ底部、円筒部及び、底部と円筒部との間の湾曲部を備えた内面を有する、半導体材料からなる溶融物を収容する装置において、坩堝とサセプタとの間に配置されておりかつ気密バリアを形成する、黒鉛からなる薄く、平面状のかつフレキシブルに変形可能なシートを有することを特徴とする、半導体材料からなる溶融物を収容する装置。例文帳に追加

In a device for holding a molten semiconductor material, comprising a crucible made from quartz glass and a susceptor which at least partially comprises CFC and which supports the crucible and has an inner surface having a base, a cylindrical section and a curved section between the base and the cylindrical section, a thin, sheet-like and flexibly deformable film made from graphite is arranged between the crucible and the susceptor and forms a gastight barrier. - 特許庁