Auger analysisとは 意味・読み方・使い方

To obtain a photoemission electron microscope of which position alignment of an analysis portion and a photoelectron observation portion by an Auger electron spectral analysis on the test piece for obtaining a photoelectron observation image with high resolution is easy.例文帳に追加

分解能の高い光電子観察画像を得るために、試料上で、オージェ電子分光分析による分析部位と光電子観測部位との位置合わせが容易な光電子顕微鏡装置を得る。 - 特許庁

When a conductive foreign substance removal probe is used, the foreign substance or the scraped residue of the foreign substance is subjected to composition analysis by Auger electron spectroscopy or secondary ion mass spectrometry.例文帳に追加

導電性の異物除去探針の場合にはオージェ電子分光法または二次イオン質量分析法で異物または異物の削り滓を組成分析する。 - 特許庁

Then, only Auger electrons AE, having emission polar angles in a range of 26±2 degrees and being selected from the Auger electrons, are introduced into a space between an inner cylindrical electrode 13 and an outside cylindrical electrode 14 arranged so as to surround the electron gun 11 and deflected by a deflection electric field, whereby an analysis is carried out.例文帳に追加

次いで、前記オージェ電子の内、放出極角が２６±２度の範囲にあるオージェ電子ＡＥのみを、電子銃１１を囲むようにして設けられた内円筒電極１３及び外円筒電極１４間に導入し、偏向電場により偏向させて分析に供する。 - 特許庁

To quickly form an extremely thin conductive thin film on the surface of an insulator sample for a method of forming a conductive film onto a sample surface in an Auger analysis device.例文帳に追加

オージェ分析装置における試料表面への導電膜形成方法に関し、絶縁物試料表面に極薄い導電薄膜を短時間に形成させることを目的としている。 - 特許庁

When the substance is gathered on a conductive pattern by a foreign substance removal probe, the foreign substance or the scraped residue of the foreign substance is subjected to composition analysis by Auger electron spectroscopy or secondary ion mass spectrometry.例文帳に追加

異物除去探針で導電性のパターン上に集めた場合にはオージェ電子分光または二次イオン質量分析法で異物または異物の削り滓を組成分析する。 - 特許庁

One X-ray spectrum is obtained from the photoelectrons and Auger electrons emitted from the sample S in an electron yield spectrum detecting section 25 of an XAFS analysis apparatus 1.例文帳に追加

ＸＡＦＳ分析装置１の電子収量スペクトル検出部２５において試料Ｓから放出された光電子及びオージェ電子に基づいてＸ線吸収スペクトルを得る。 - 特許庁

The sample piece 8 is set in an Auger electron spectrophotometer, and analysis in the depth direction is performed, relative to the analytical object plane 12 on the surface of the first plane 5s as an analytical region, and analysis of the elemental distribution is performed on both sides of the interface 4.例文帳に追加

試料片８をオージェ電子分光分析装置にセッティングし、第１平面５ｓの表面にある分析対象面１２を分析領域として深さ方向の分析を行い、界面４の両側にわたって元素分布の分析を行うものとする。 - 特許庁

When analyzing three components of aluminum, carbon, and oxygen in the surface of the aluminum electrode layer 5 by Auger electron analysis, the percentage of aluminum is 85% or above.例文帳に追加

上記アルミニウム電極層５の表面についてアルミニウム、炭素及び酸素の３成分をオージェ電子分析で分析したときの上記３成分中のアルミニウムの割合が８５％以上である。 - 特許庁