Chemical Vapor Deposition Systemとは 意味・読み方・使い方

FORMING METHOD FOR GLASS FILM SUING PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM例文帳に追加

プラズマ励起化学的気相成長装置を用いたガラス膜の形成方法 - 特許庁

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM AND METHOD FOR GROWING SEMICONDUCTOR FILM例文帳に追加

化学気相成長装置および半導体膜の成長方法 - 特許庁

STRUCTURE OF DISCHARGE ELECTRODE IN PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM例文帳に追加

プラズマ化学蒸着装置における放電電極の構造 - 特許庁

PLASMA PROCESSING METHOD, PLASMA PROCESSING APPARATUS, PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD, AND PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM例文帳に追加

プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置、プラズマ化学蒸着方法及びプラズマ化学蒸着装置 - 特許庁

To provide a chemical vapor deposition system having a system constitution compact and simple correspondingly to the enlargement of a substrate, and capable of securely performing film deposition by a chemical vapor deposition process, and to provide a film deposition method using the same.例文帳に追加

基板の大型化に対応してコンパクトで簡素な装置構成で、確実に化学気相成長法による成膜を行うことが可能な化学気相成長装置及びこれを用いた成膜方法を提供する。 - 特許庁

To provide a deposition system which has a deposition chamber and an evaporator connected to the chamber for performing chemical vapor deposition.例文帳に追加

堆積チャンバ及び上記チャンバに結合されている蒸発器を備え、化学蒸着を遂行するための堆積システムを提供する。 - 特許庁

By using such chemical vapor deposition system, carbon nanotubes can be synthesized in a large amount.例文帳に追加

このような化学気相蒸着装置を用いてカーボンナノチューブを大量に合成することができる。 - 特許庁

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM AND METHOD FOR SYNTHESIZING CARBON NANOTUBE USING THE SAME例文帳に追加

化学気相蒸着装置およびこれを用いたカーボンナノチューブ合成方法 - 特許庁