Ion Doping Systemとは 意味・読み方・使い方

FARADAY CUP EQUIPMENT, ION DOPING SYSTEM, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

ファラデーカップ装置およびイオンドーピング装置ならびに半導体装置の製造方法 - 特許庁

To control a concentration of a donor impurity or an acceptor impurity in a processing object in which a doping is carried out by using an ion doping system, and to reduce a dispersion of the concentration.例文帳に追加

イオンドーピング装置を用いてドーピングをおこなった被処理体中のドナー不純物又はアクセプタ不純物の濃度を制御し、その濃度のばらつきを小さくする。 - 特許庁

In the ion doping system, except for special case, the ion accelerated by an electrical field is implanted onto the surface of the substrate approximately vertically even though with slight fluctuation.例文帳に追加

イオンドーピング装置において、電界で加速されるイオンは、特別な場合を省き配置される基板表面に対し、僅かなゆらぎがあるもののほぼ垂直な角度で入射する。 - 特許庁

A doping system has a shielding plate comprising a metal, a quartz, or the like provided in order to avoid ion implantation on the periphery section of the substrate.例文帳に追加

本発明のドーピング装置は、基板の外周部にイオンが注入されないように、金属又は石英などの絶縁材で形成される遮蔽板を設けることに特徴を有している。 - 特許庁

To provide a doping system generating plasma (ion), accelerating it by high voltage to form an ion current, irradiating a substrate with it and furthermore, irradiating the substrate with a linear laser beam, and especially suitable for treatment of a wide area substrate.例文帳に追加

プラズマ（イオン）を発生させて、これを高電圧で加速してイオン流を形成し、これを基板に照射し、更に基板に線状レーザー光を照射するドーピング装置において、特に大面積基板を処理するのに適した装置を提案する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a magnetic storage medium while suppressing a variation in a magnetization-inversion magnetic field while using an ion doping system, and to provide a magnetic storage medium manufactured by the method and an information storage device.例文帳に追加

イオンドーピング方式を用いつつも、磁化反転磁界のバラつきを抑えて磁気記憶媒体を製造することができる製造方法、そのような製造方法で製造された磁気記憶媒体および情報記憶装置を提供する。 - 特許庁