Pattern Accuracyとは 意味・読み方・使い方

To inspect a pattern with high accuracy and efficiency.例文帳に追加

高い精度および効率でパターンを検査する。 - 特許庁

To improve a metal pattern in shape accuracy.例文帳に追加

金属パターンの形状精度を向上させる。 - 特許庁

To correct the pattern of a photomask with high accuracy.例文帳に追加

フォトマスクのパターン修正を高精度で行う。 - 特許庁

To maintain desired transfer pattern formation accuracy.例文帳に追加

所期の転写パターン形成精度を維持すること。 - 特許庁

To form a micro opening pattern with high accuracy.例文帳に追加

高精度な微細開口パターンを形成すること。 - 特許庁

To form a pattern from a pattern-forming material with accuracy on a substrate.例文帳に追加

基板上のパターン形成材料から精度よくパターンを形成する。 - 特許庁

Also, the pattern accuracy of the mask pattern is reverse calculated from the design margin M.例文帳に追加

また、この設計マージンＭからマスクパターンのパターン精度を逆算する。 - 特許庁

METHOD FOR MEASUREMENT OF OVERLAY ACCURACY AND PATTERN FOR MEASUREMENT OF OVERLAY ACCURACY例文帳に追加

重ね合わせ精度測定方法および重ね合わせ精度測定用パターン - 特許庁