RF Electrodeとは 意味・読み方・使い方

Also disclosed are means for actuating an RF electrode in the end effector and means for indicating actuation of the RF electrode.例文帳に追加

エンドエフェクタのＲＦ電極を作動させる手段、およびＲＦ電極の作動を示す手段も開示される。 - 特許庁

When the polysilicon layer 9 is etched, conditions such as Cl2: 150 sccm, HBr: 450 sccm, CHF3: 100 sccm, pressure: 100 mTorr, RF power in an upper counter electrode 15: 500 W and RF power in a lower counter electrode 13: 300 W are adopted.例文帳に追加

ここで、ポリシリコン層9のエッチングにおいて、例えば、Cl_2:150sccm、HBr:450sccm、CHF_3:100sccm、圧力:100mTorr、上部対向電極15におけるRFパワー:500W、および下部対向電極13におけるRFパワー:300Wの条件を用いる。 - 特許庁

The electrostatic chucking device provides improved RF coupling uniformity when RF energy is coupled through the clamping electrode from an underlying RF electrode.例文帳に追加

静電チャック装置は、ＲＦエネルギが下にあるＲＦ電極からクランプ電極を通して結合されるときに、改善されたＲＦ結合の均一性を提供する。 - 特許庁

An RF power generator is coupled to the cathode electrode.例文帳に追加

ＲＦパワー発生器がカソード電極に結合されている。 - 特許庁

The main rf electrode 1 and the secondary rf electrode 4 are electrically connected to each other by wires or cables.例文帳に追加

主ｒｆ電極１と第２ｒｆ電極４はワイヤまたはケーブルによって電気的に互いに接続されている。 - 特許庁

A 3rd flat plate rf electrode as an wafer holder is arranged at a bottom side surface parallel to the doubly concentric rf electrode.例文帳に追加

ウェハーホルダとしての第３の平板ｒｆ電極が二重同心ｒｆ電極に平行な下側平面に配置される。 - 特許庁

This plasma processing equipment has a doubly concentric rf electrode as an upper electrode.例文帳に追加

このプラズマ処理装置は上部電極として二重同心ｒｆ電極を有する。 - 特許庁

Plasma is generated in a first buffer portion 310, which is defined by a gap between the RF electrode plate and an upper surface of the showerhead, by means of the electric power applied from the RF power source to the RF electrode plate.例文帳に追加

ＲＦ電極板に印加されるＲＦ電源により、ＲＦ電極板とシャワーヘッドの上面との間に区画された第１のバッファ部３１０でプラズマが発生する。 - 特許庁