rfeとは 意味・読み方・使い方

Since the heat treatment on the peripheral edge RFE of the resist film RF by irradiation with the flash light is an extremely short-time treatment with at most 1 second treatment time, moreover, since the entire peripheral edge RFE is collectively irradiated with the flash light, the peripheral edge RFE can be removed in a short time.例文帳に追加

フラッシュ光照射によるレジスト膜ＲＦの周縁部ＲＦＥの加熱処理は処理時間が１秒以下の極めて短時間の処理であり、しかも周縁部ＲＦＥの全体に一括してフラッシュ光が照射されるため、その周縁部ＲＦＥを短時間にて除去可能とすることができる。 - 特許庁

By irradiation with the flash light, the peripheral edge RFE is heated to the glass transition point Tg or higher and changed into soluble with a developing solution by a deblocking function.例文帳に追加

フラッシュ光照射により周縁部ＲＦＥはガラス転移点Ｔｇ以上に加熱され、脱保護反応によって現像液に溶解可能となる。 - 特許庁

A flash irradiation unit 60 includes a projection optical system 61 and condenses flash light emitting from a flash lamp FL to collectively irradiate only a peripheral edge RFE of the resist film RF.例文帳に追加

フラッシュ照射部６０は、投光光学系６１を備えており、フラッシュランプＦＬから出射されたフラッシュ光を集光してレジスト膜ＲＦの周縁部ＲＦＥのみに一括照射する。 - 特許庁