Space Chamberとは 意味・読み方・使い方

An internal chamber 52 is arranged in the chamber 51, and a space is formed by partitioning the space of the chamber 51.例文帳に追加

内部チャンバ５２は、チャンバ５１内に設けられ、チャンバ５１の空間を仕切って形成される空間である。 - 特許庁

A load lock chamber is placed in a vacuum chamber on the extension of a turntable 8 in the vacuum chamber as a space chamber.例文帳に追加

真空チャンバーには予備チャンバーとしてロードロック室が真空チャンバー内のターンテーブル８の延長上に配置される。 - 特許庁

A space chamber 7 in cylindrical body is divided into upper and lower two parts, namely a first space chamber and a second space chamber, by a first seal 12a on a rotation ring outer peripheral surface of a space chamber dividing seal portion 12, and each of the first and second space chambers is provided with drain port 13, 14 respectively.例文帳に追加

筒状ボディ内空間室７を空間室分割用シール部１２の回転リング外周面の第１シール１２ａで第１空間室７ａ，第２空間室７ｂの上下２段に分けてそれぞれドレン口１３，１４を設ける。 - 特許庁

The auxiliary space (91) is connected to a first fluid chamber (72) which constitutes an expansion chamber.例文帳に追加

補助用空間（91）は、膨張室を構成する第１流体室（72）に接続される。 - 特許庁

The space between the film forming process chamber and the reaction process chamber is provided with the exhaust pump 82.例文帳に追加

成膜プロセス室２０，４０と反応プロセス室６０との間には、排気ポンプ８２が配設される。 - 特許庁

The seal ring 32 partitions a space S into a first back pressure chamber S1 and second back pressure chamber S2.例文帳に追加

シールリング３２は、間隙Ｓを第１背圧室Ｓ１と第２背圧室Ｓ２とに区画する。 - 特許庁

A diffusion chamber 33 of a diffusion chamber definition part 30 is continuous to a treatment space 10a through a leakage outlet 35.例文帳に追加

拡散室画成部３０の拡散室３３を漏出口３５を介して処理空間１０ａに連ねる。 - 特許庁

The seal portion 73C seals the space between the chamber part 71 and the chamber head 72.例文帳に追加

封止部７３Ｃは、チャンバ部７１とチャンバヘッド７２との間を封止している。 - 特許庁