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Substrate Automatic Transfer Systemとは 意味・読み方・使い方
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To provide a method of transferring a substrate-housing jig and an automatic transfer system, which suppresses the growth of foreign matters due to transfer to a low level and realizes reduction of the transfer time.例文帳に追加
本発明は、搬送による異物発生を低レベルに抑えかつ搬送時間の短縮を実現する基板収納治具搬送方法および自動搬送システムを得る。 - 特許庁
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