Vacuum Evaporation Systemとは 意味・読み方・使い方

VACUUM EVAPORATION SYSTEM, OPTICAL ELEMENT FILM-FORMED BY USING THE VACUUM EVAPORATION SYSTEM, OPTICAL-SYSTEM, PROJECTION ALIGNER, AND METHOD FOR PRODUCING DEVICE例文帳に追加

真空蒸着装置、および該真空蒸着装置を用いて成膜した光学素子、光学系、投影露光装置、デバイス製造方法 - 特許庁

Subsequently, a gas including ozone is introduced into a vacuum evaporation system.例文帳に追加

その後、真空蒸着装置内にオゾンを含むガスを導入する。 - 特許庁

VACUUM ARC EVAPORATION SOURCE, AND FILM DEPOSITION SYSTEM USING IT例文帳に追加

真空アーク蒸発源およびそれを用いた膜形成装置 - 特許庁

After that, in a process detecting pressure in an evaporation system and determining leak, first, negative pressure is introduced into the evaporation system by a second vacuum pump and simultaneously, or before or after that, negative pressure is introduced into the evaporation system by the first vacuum pump.例文帳に追加

その後、エバポ系内圧力検出及びリーク判定処理では、まず、第２の負圧ポンプによりエバポ系内に負圧を導入すると共に、これと同時に又は前後して第１の負圧ポンプによりエバポ系内に負圧を導入する。 - 特許庁

In a vacuum deposition system 50 equipped with a vacuum chamber 1, the evaporation source 2 having an evaporation material holding container 2a, etc., and a hopper type evaporation material feeding material 10, the evaporation material is fed into the evaporation material holding container 2a, etc., by using a metering cup 21.例文帳に追加

真空チャンバ１と、蒸発材料保持容器２ａ等を備える蒸発源２と、ホッパ式蒸発材料供給手段１０を備える真空成膜装置５０において、蒸発材料保持容器２ａ等に蒸発材料を供給するにあたり、計量カップ２１を用いて行う。 - 特許庁

In a vacuum evaporation system used for this producing method, the inside of a vacuum tank 2 is provided with an evaporation source 5, a shutter 3 on the evaporation source side and a shutter 4b on the substrate side.例文帳に追加

本製造方法に用いる真空蒸着装置は真空槽２内に、蒸発源５と、蒸発源側シャッタ３と、基板側シャッタ４ｂとを備える。 - 特許庁

CRUCIBLE FOR VACUUM EVAPORATION SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD FOR ORGANIC EL DISPLAY USING THE SAME例文帳に追加

真空蒸着装置用るつぼおよびそれを用いた有機ＥＬディスプレイの製造方法 - 特許庁

This device is provided with a focused ion beam device 21, a vacuum evaporation system 33 and a transportation mechanism chamber 47.例文帳に追加

集束イオンビーム装置２１と真空蒸着装置３３と搬送機構室４７を備えている。 - 特許庁