Vacuum chambersとは 意味・読み方・使い方

The apparatus 30 further comprises a vacuum pump PP for evacuating the chambers 32, 34, 36, 38 independently of each other, and shutters 33, 35, 37 for selectively partitioning the chambers.例文帳に追加

また、各室３２，３４，３６，３８を独立して真空にする真空ポンプＰＰと、各室を選択的に区切るシャッター３３，３５，３７も備える。 - 特許庁

To provide a differentially pumped vacuum system that has a plurality of pressure chambers and a pumping arrangement (100) for evacuating the pressure chambers.例文帳に追加

複数の圧力チェンバと、前記圧力チェンバを真空引きするポンピング装置(100)とを有する差圧的にポンピングされる真空システムを提供する。 - 特許庁

Accordingly, the chambers may be continuously maintained in a vacuum state when any one of the chambers is repaired.例文帳に追加

これにより、特定グループに属するチャンバの維持補修時、他のグループに属するチャンバの内部は、継続的に真空で維持することができる。 - 特許庁

To shorten the operation stop time of vacuum chambers accompanying regeneration of a cryopump in a vacuum device in which an exclusive cryopump is connected to each of a plurality of vacuum chambers.例文帳に追加

複数の真空チャンバに、それぞれ専用のクライオポンプが接続されている真空装置で、クライオポンプの再生に伴う真空チャンバの運転停止時間を短時間にする。 - 特許庁

A heating coil 20 as an infrared radiator is disposed in each of the vacuum chambers 16.例文帳に追加

各真空室１６内にはそれぞれ赤外線放射体としての加熱コイル２０が配設されている。 - 特許庁

With a vacuum conveyance chamber T2 as a center, a film-forming chamber R and substrate preliminary chambers L/H are arranged coaxially.例文帳に追加

真空搬送室Ｔ２を中心にして一軸上に成膜室Ｒ、基板予備室Ｌ／Ｈを配置する。 - 特許庁

Auxiliary chambers 71 to 73 and the film deposition chamber 4 are always kept at vacuum.例文帳に追加

補助チャンバー７１〜７３及び成膜チャンバー４は、常時真空に維持される。 - 特許庁

The airtight chambers 6 and 7 are formed with the same atmospheric pressure which is a lower pressure (vacuum or the like)/higher pressure than an outside atmospheric pressure.例文帳に追加

気密室６，７は同じ気圧で且つ外気圧より低圧（真空等）／高圧となっている。 - 特許庁