Residual gas analyzerとは 意味・読み方・使い方

VACUUM CHAMBER WITH GAS ANALYZER, BAKING METHOD OF VACUUM CHAMBER WITH GAS ANALYZER, AND ANALYSIS METHOD OF RESIDUAL GAS IN VACUUM CHAMBER WITH GAS ANALYZER例文帳に追加

ガス分析計付真空チャンバ、ガス分析計付真空チャンバのベーキング方法およびガス分析計付真空チャンバ内の残留ガスの分析方法 - 特許庁

DOSIMETRY USING OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY/RESIDUAL GAS ANALYZER IN CONJUNCTION WITH ION CURRENT例文帳に追加

イオン電流に関連した発光分光法／残留ガス分析装置を使用するドーズ計測 - 特許庁

To provide an in-situ gas analyzer probe for eliminating analytical interference by sulfur element steam to concentration analysis of residual H2S in exhaust gas from reaction.例文帳に追加

反応からの排ガス内の残存Ｈ２Ｓの濃度分析への硫黄元素蒸気による妨害を除く。 - 特許庁

To provide a vacuum chamber with a gas analyzer provided with a quadruple mass spectrometer for measuring under high temperature conditions without deteriorating the sensitivity and to provide a baking method of the vacuum chamber with the gas analyzer and an analysis method of the residual gas in the vacuum chamber with the gas analyzer.例文帳に追加

高温条件下においても感度が劣化することなく測定することが可能な四重極質量分析計を備えるガス分析計付真空チャンバ、ガス分析計付真空チャンバのベーキング方法およびガス分析計付真空チャンバ内の残留ガスの分析方法を提供する。 - 特許庁

A plasma enhanced CVD system for processing one or more flat panel display substrate comprises a process chamber 133 arranged to contain gas, a residual gas analyzer 63 arranged to analyze and feed back gas in the process chamber, and a controller 250 for monitoring feedback from the gas analyzer.例文帳に追加

１枚以上のフラットパネルディスプレイ基板を処理するためのプラズマ増強型化学気相堆積システムであって、ガスを含有するように構成されたプロセスチャンバ１３３と、プロセスチャンバ内のガスを分析するとともにフィードバックをするように構成された残留ガス分析器６３と、ガス分析器からのフィードバックをモニタするためのコントローラ２５０を備えている。 - 特許庁

To provide a high vacuum analyzer including a preliminary exhaust chamber 20 before a analyzing chamber 10 wherein a degree of vacuum of the preliminary exhaust chamber is made higher for a short time and contamination of a sample S and walls of the analyzing chamber caused by residual gas is prevented.例文帳に追加

分析室１０の前に予備排気室２０を備える形態の高真空分析装置において、短い時間で予備排気室の真空度をより高くすると共に、残留ガスによる試料Ｓおよび分析室壁の汚染を防止する。 - 特許庁

To provide a lamp filler gas analyzer capable of analyzing the gas filled in the lamp with high precision in a short time, after removing residual gas by baking external surfaces of a required number of lamp specimens.例文帳に追加

予め必要数のランプ試料の外表面をベーキングすることによって残留ガスを除去し、その後に、ランプ試料中に封入されたガスを高精度かつ短時間で分析することを可能にしたランプ封入ガス分析装置を提供すること。 - 特許庁