Vertical Laminar Flow Clean Roomとは 意味・読み方・使い方

In a full vertical laminar flow type clean room, lower suction is divided into a plurality of parts, and the lower suction is sucked into the same direction as the laminar flow direction by adjusting the fan capacity of every suction.例文帳に追加

全面鉛直層流型クリーンルームにおいて、下部吸込みを複数に分割し、各吸込み毎のファン能力を調整して層流方向と同方向に吸込むことを特徴とするクリーンルームである。 - 特許庁

To provide an opening and closing device for a photomask storage container for opening and closing an upper cap of a storage container for carrying in or out a photomask, the device capable of opening and closing while keeping cleanliness of a substrate in a vertical laminar flow type clean room environment.例文帳に追加

フォトマスクを搬入出のために収納容器の上蓋を開閉するフォトマスクの収納容器の開閉装置において、垂直層流型クリーンルーム環境において、基板の清浄度を維持しながら開閉することを可能ならしめる開閉装置を提供すること。 - 特許庁

In a clean room 4, air flows as vertical laminar flow, sucked from an opening of a grating 6 made of floor material by a plurality of suction fans 5 installed at a lower part, and circulates through an under the floor return chamber 7 and an ascending return chamber 8.例文帳に追加

クリーンルーム４では鉛直層流として流れ、下部に複数個設置された吸込みファン５によって、床材のグレーチング６の開口より吸込まれ、床下リターンチャンバー７、上昇リターンチャンバー８を通って循環する。 - 特許庁