alignment keyとは 意味・読み方・使い方

METHOD OF FORMING ALIGNMENT KEY IN FORMATION PROCESS OF WELL STRUCTURE, AND METHOD OF FORMING ELEMENT ISOLATION USING KEY例文帳に追加

ウェル構造の形成工程での整列キーの形成方法、及びそれを利用した素子分離形成方法 - 特許庁

A semiconductor element comprises a semiconductor substrate equipped with a cell region alignment key.例文帳に追加

半導体素子はセル領域アライメントキーを有する半導体基板を備える。 - 特許庁

To provide a method of forming an alignment key of a semiconductor device, which can easily perform overlay measurement using the alignment key by forming the alignment key having a required step even after depositing a capping film on an interlayer dielectric and flattening the deposited film.例文帳に追加

層間絶縁膜上にキャッピング膜を蒸着して平坦化後にも所望の段差を有するアライメントキーを形成することで、アライメントキーを用いたオーバーレイの測定を容易に行える半導体素子のアライメントキー形成方法を提供する。 - 特許庁

SEMICONDUCTOR ELEMENT WITH ACTIVE REGION SPECIFYING ALIGNMENT KEY, AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

活性領域限定用アラインキーを有する半導体素子及びその製造方法 - 特許庁

To provide a semiconductor element having an active region specifying alignment key, and its manufacturing method.例文帳に追加

活性領域限定用アラインキーを有する半導体素子及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

During layout of the mask for micromachining the cMUT layer, either the hexagonal pattern or the alignment key is rotated until an axis of symmetry of the hexagonal pattern is aligned with an axis of the alignment key.例文帳に追加

ｃＭＵＴ層を微細加工するためのマスクレイアウト中に、六角形パターンの対称の軸がアラインメントキーの軸と整列するまで六角形のパターン又はアラインメントキーのいずれかが回転される。 - 特許庁

To provide a semiconductor device for forming an alignment key in a scribeline area, and a method of manufacturing the device.例文帳に追加

スクライブライン領域にアライメントキーを形成するための半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

A male portion of the high speed coaxial interconnection for a coaxial transmission line and an alignment key 220 are provided at the mechanical alignment mechanism 26 having a close fixing body.例文帳に追加

密着合わせ本体付き機械的アライメント機構部分２６に同軸伝送ライン用高速同軸相互接続部分の雄側部と、アライメント・キー２２０を設ける。 - 特許庁