automatic defect reviewとは 意味・読み方・使い方

To provide a review apparatus positively, highly accurately and efficiently conducting automatic defect review (ADR) and automatic defect classification (ADC) by aligning defects detected in an upstream inspection apparatus in a short time, for the review apparatus.例文帳に追加

上流の検査装置で検出された欠陥を、レビュー装置に対して確実に、高精度に、しかも短時間にアライメントをして効率よく、詳細再検査（ＡＤＲ）や欠陥分類（ＡＤＣ）を行うことができるようにしたレビュー装置を提供する。 - 特許庁

To suppress degradation of reliability and reduce the time for observing a defect in an automatic defect review of a semiconductor device.例文帳に追加

半導体装置の自動欠陥観察において、欠陥観察の信頼性の劣化を抑え、欠陥観察に要する時間の短縮を図る。 - 特許庁

To shorten the time required for automatic focusing in semiconductor defect automatic review by use of an electron beam type microscope to improve throughput for observing a sample.例文帳に追加

電子線式顕微鏡を用いた半導体欠陥自動レビューにおける自動焦点合わせに要する時間を短縮することができ、試料を観察するスループットを向上させる。 - 特許庁