automatic defect classificationとは 意味・読み方・使い方

DEFECT INSPECTION METHOD AND ITS SYSTEM, AND DEFECTIVE AREA DETECTION METHOD FOR AUTOMATIC DEFECT CLASSIFICATION例文帳に追加

欠陥検査方法とその装置、及び欠陥の自動分類のための欠陥位置検出方法 - 特許庁

This condition is maintained at automatic defect classification time, after circuit pattern inspection.例文帳に追加

この状態は回路パターン検査後の自動欠陥分類時に維持される。 - 特許庁

This condition is maintained, when an automatic defect classification is performed after the circuit pattern inspection.例文帳に追加

この状態は回路パターン検査後の自動欠陥分類時に維持される。 - 特許庁

To cope with detection/classification of a defect on different patterns photographed at different places of an inspection object, and to improve accuracy of an automatic classification result.例文帳に追加

検査対象物の異なる場所で撮影した違うパターン上の欠陥の検出・分類に対応し、なおかつ自動分類結果の精度を向上させる。 - 特許庁

To provide a review apparatus positively, highly accurately and efficiently conducting automatic defect review (ADR) and automatic defect classification (ADC) by aligning defects detected in an upstream inspection apparatus in a short time, for the review apparatus.例文帳に追加

上流の検査装置で検出された欠陥を、レビュー装置に対して確実に、高精度に、しかも短時間にアライメントをして効率よく、詳細再検査（ＡＤＲ）や欠陥分類（ＡＤＣ）を行うことができるようにしたレビュー装置を提供する。 - 特許庁

To provide a system for defect classification capable of shortening the work time of the visual examination of a product determined to be defective by an automatic inspection machine in a manufacturing process of a color filter or the like and capable of efficiently performing the input work of defect classification data.例文帳に追加

カラーフィルタ等の製造工程において、自動検査機で不良と判定された製品についての目視検査の作業時間を短縮するとともに、不良区分情報の入力作業を効率良く行うことができる不良分類システムを提供する。 - 特許庁

When performing detection/automatic classification of a defect of the inspection object 1 having a repeated pattern such as a liquid crystal display device or a semiconductor wafer, the repeated pattern is divided beforehand into a plurality domains, and databases 71, 72, 73 for automatic classification differentiated by a domain on the repeated pattern to which a defect portion detected from an inspection image belongs are created.例文帳に追加

液晶表示装置や半導体ウェハ等の繰り返しパターンを持つ検査対象物１の欠陥を検出・自動分類する際、繰り返しパターンを予め複数の領域に分割し、被検査画像から検出された欠陥部位が上記繰り返しパターンのどの領域に属するによって異なった自動分類用データベース７１，７２，７３を作成しておく。 - 特許庁