bubbler systemとは 意味・読み方・使い方

INSTRUMENTATION CONTROL APPARATUS OF BUBBLER TUBE TYPE LEVEL MEASUREMENT SYSTEM例文帳に追加

バブラー管式レベル計測方式の計装制御装置 - 特許庁

BUBBLER REPLACEMENT METHOD IN MOCVD SYSTEM例文帳に追加

ＭＯＣＶＤ装置のバブラー交換方法 - 特許庁

To provide a material gas supply system in which material gas supply can be kept at a constant level even if the carrier gas flow rate of a bubbler varies significantly in a short time by suppressing pressure variation in the bubbler.例文帳に追加

短時間でバブラのキャリアガス流量が大きく変動してもバブラ内の圧力変動を抑制して、原料ガス供給量を一定に保つことの可能な原料ガス供給装置を提供する。 - 特許庁

To provide a bubbler that can select a supply system for a raw material gas to a substrate processing apparatus in accordance with the kind of a liquid raw material and vaporization pressure of the liquid raw material.例文帳に追加

液体原料の種類・蒸気圧に応じて基板処理装置への原料ガス供給方式を選択可能なバブラを提供する。 - 特許庁

To provide a method and system for monitoring a liquid level in a container, especially a level of organometallic compound in a bubbler.例文帳に追加

容器内の液体のレベル、特に、バブラー内における有機金属化合物のレベルを監視するための方法および装置を提供する。 - 特許庁

The system 1 for producing a semiconductor substrate comprises a CVD furnace 2 for growing an epitaxial layer on a semiconductor substrate (wafer) W, an exhaust gas bubbler 3 branched from the way of piping 23 for discharging exhaust gas, and an analyzer 4 for analyzing metals in the exhaust gas captured by pure water 33 in the bubbler 3.例文帳に追加

半導体基板の製造装置１は半導体基板（ウェーハ）Ｗにエピタキシャル層を成長させるＣＶＤ炉２、その排気ガスの排出用配管２３の途中から分岐して設けられた排気ガスのバブリング装置３、バブリング装置３の純水３３に捕捉された排気ガス中の金属を分析する分析装置４とから構成される。 - 特許庁

To disclose a bubbler design, having two chambers to use the solid organometallic supply source materials of chemical vapor deposition system and a method for transporting a carrier gas saturated by source materials for transmission into such a system.例文帳に追加

化学蒸着系の固体有機金属供給源物質を用いる２つのチャンバーを有するバブラーデザイン、およびこのような系中に送達するためのソース材料で飽和したキャリアガスの輸送法を開示する。 - 特許庁