「bubbler system」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

The system 1 for producing a semiconductor substrate comprises a CVD furnace 2 for growing an epitaxial layer on a semiconductor substrate (wafer) W, an exhaust gas bubbler 3 branched from the way of piping 23 for discharging exhaust gas, and an analyzer 4 for analyzing metals in the exhaust gas captured by pure water 33 in the bubbler 3.例文帳に追加

半導体基板の製造装置１は半導体基板（ウェーハ）Ｗにエピタキシャル層を成長させるＣＶＤ炉２、その排気ガスの排出用配管２３の途中から分岐して設けられた排気ガスのバブリング装置３、バブリング装置３の純水３３に捕捉された排気ガス中の金属を分析する分析装置４とから構成される。 - 特許庁

To disclose a bubbler design, having two chambers to use the solid organometallic supply source materials of chemical vapor deposition system and a method for transporting a carrier gas saturated by source materials for transmission into such a system.例文帳に追加

化学蒸着系の固体有機金属供給源物質を用いる２つのチャンバーを有するバブラーデザイン、およびこのような系中に送達するためのソース材料で飽和したキャリアガスの輸送法を開示する。 - 特許庁

In a humidified gas supply system B, humidified gas including steam in the saturated state is acquired by humidifying the high purity air sufficiently by a bubbler 14 and by cooling the gas to a fixed temperature by an electronic cooler 18.例文帳に追加

加湿ガス供給系Ｂでは、高純度空気にバブラー１４で十分な加湿を行った後に電子クーラ１８で一定温度に冷却し、水蒸気を飽和状態とした加湿ガスを得る。 - 特許庁

To provide a simple and easy refilling system capable of performing operations with high reliability in response to the lowest and highest levels in a bubbler where a carrier gas is supplied into a liquid substance to vaporize the substance for use and to feed the same to a consumption device.例文帳に追加

キャリアーガスを液体物質中に送入して、該物質を蒸発させて使用・消費装置に供給するバブラーにおいて、その最低及び最高液面に応じて正確且つ高い信頼性で操作を可能ならしめる単純・簡単な再充填システムを提供する。 - 特許庁