drifting plasmaとは 意味・読み方・使い方

To enhance the etching uniformity over a wafer surface by preventing drifting of plasma ions through utilization of magnetic coil blocks in a magnetron plasma etching apparatus.例文帳に追加

マグネチックコイルブロックを利用してプラズマイオンのドリフティングを防止してウエハー面内均一性を向上する。 - 特許庁

Then, based on such positive-negative voltage, the incidence direction to the target 35B of Ar^+ drifting from the plasma 27 to the target 35B is controlled.例文帳に追加

そして、このような正負電圧に基づいて、プラズマ２７からターゲット３５ＢにドリフトするＡｒ^+のターゲット３５Ｂへの入射方向が制御されている。 - 特許庁

To provide a plasma discharge trueing device and fine machining method which can effectively remove the center drifting of a grinding wheel and run-out, perform highly accurate trueing without deformation of the grinding wheel itself, manage with a small capacity power supply facility and small output, make complex control circuits unnecessary and controllers and manufacture and rework consumables such as electrodes with ease.例文帳に追加

砥石の芯ズレや振れを効率よく除去することができ、砥石自体の変形がなく高精度のツルーイングができ、電源設備が小型，小出力で足り、複雑な制御回路や制御装置が不要であり、電極等消耗品の製作／再加工が容易であるプラズマ放電ツルーイング装置と微細加工方法を提供する。 - 特許庁