electron scattering spectrumとは 意味・読み方・使い方

To measure a high S/N ratio and high space resolution elastic scattering electron image, an element image formed with characteristic X-rays and an element image formed by an electron beam energy spectrum in an electron microscope device having an element image generating function.例文帳に追加

元素像を生成する機能を有する電子顕微鏡において、高Ｓ／Ｎかつ高空間分解能の弾性散乱電子像や特性Ｘ線による元素像や電子線エネルギー分光による元素像を測定できるようにする。 - 特許庁

A characteristic X-ray signal and an electron beam energy loss spectrum are measured or a plurality of energy filter signals including core losses of an observed element are measured simultaneously and continuously with detection of elastic scattering electrons transmitted through an analyzing sample object to integrate the element images formed with the characteristic X-rays and the electron beam energy spectrum while correcting positional displacement based on the continuously observed elastic scattering electron images.例文帳に追加

分析対象試料を透過した弾性散乱電子の検出と同時に連続して、特性Ｘ線信号と電子線エネルギー損失スペクトルの測定、あるいは観察元素のコアロスを含む複数のエネルギーフィルタ信号を測定し、連続観察した弾性散乱電子像を基にした位置ずれを補正しながら、特性Ｘ線や電子線エネルギー分光による元素像を積算する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope or a sample inspection method using the scanning electron microscope which is high in reliability of an element spectrum of a sample or accuracy of quantification thereof by means of suppression of a system peak by regulating an amount of electrons scattering on an objective lens diaphragm to control electrons which deviate from a main electron beam trajectory and are irradiated beyond analysis points.例文帳に追加

本発明は対物レンズ絞り上で散乱する電子の量を制限し、主電子線軌道から外れ、分析点以外に照射される電子を制御することでシステムピークを抑制し、試料の元素スペクトルの信憑性または定量精度の高い走査電子顕微鏡または走査電子顕微鏡による試料検査方法を提供することである。 - 特許庁